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SOKUDO Pour Joindre le Programme Multiple de Lithographie d'E-Poutre

Published on September 17, 2010 at 4:59 AM

SOKUDO Co., Ltd., la couche de lithographie/développent la piste, matériel de processus, compagnie en participation, et le CEA-Leti a aujourd'hui annoncé que SOKUDO joindra l'industrie/recherche neuves le programme qu'à partenaires multiples IMAGINENT qui développe la lithographie maskless pour la fabrication d'IC.

Le projet de trois ans est abouti par le CEA-Leti, le principal institut de recherches Français de semi-conducteur, et comprend également les constructeurs TSMC de semi-conducteur et les STMicroelectronics. Il évalue une infrastructure maskless de lithographie et l'utilisation des outils de Lithographie de COMPAGNIE D'ASSURANCE pour le débit élevé. Le programme multiple d'e-poutre-lithographie couvre un élan global à la technologie, y compris l'estimation d'outil, structuration et l'intégration de processus, de manipulation de données, le prototypage et l'analyse des coûts.

la « E-Poutre a le potentiel d'être une technologie viable pour beaucoup de couches de procédé de lithographie de sub-22nm à la logique/à la fabrication semi-conducteur de fonderie, » a dit Tadahiro Suhara, Président et Directeur Général de SOKUDO. « SOKUDO adopte une approche globale à l'préparation pour la couche/développe l'état de préparation de processus de piste en technologies multiples de lithographie de sub-22nm, y compris des extensions de lithographie d'ArF de submersion, EUV et lithographie d'e-poutre. Le CEA-Leti IMAGINENT que la collaboration rassemble un effort orienté pour activer la production-digne lithographie d'e-poutre, y compris le multiple résistent à la clé de constructeurs au développement de processus de sub-22nm. »

« Nous avions travaillé avec le RF3 de SOKUDO couche-et-établissons le système de piste depuis de nombreuses années et le programme d'IMAGINATION tirera bénéfice de la connaissance intense et support de SOKUDO en développant les procédés nécessaires pour supporter la technologie maskless, » a dit la Serge Tedesco, le gestionnaire de programme le CEA-Leti. « L'expérience du CEA-Leti en technologie d'e-poutre combinée avec SOKUDO couche-et-établissent des compétences de piste aidera sécurisé l'infrastructure de processus nécessaire pour la lithographie multi d'e-poutre. »

La Lithographie B.V. de COMPAGNIE D'ASSURANCE, basée à Delft, Pays-Bas, effectue des machines de maskless-lithographie pour l'entreprise de semiconducteurs. Elle supporte le projet d'IMAGINATION avec ses plates-formes massivement parallèles d'électron-poutre.

Source : http://www.leti.fr/

Last Update: 12. January 2012 09:21

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