SOKUDO Para Juntar-se ao Programa Múltiplo da Litografia do E-Feixe

Published on September 17, 2010 at 4:59 AM

SOKUDO Co., Ltd., o revestimento da litografia/desenvolvem a trilha, equipamento de processo, empresa de empreendimento misto, e CEA-Leti anunciou hoje que SOKUDO se juntará à indústria/pesquisa que novas o programa com vários sócios IMAGINA que está desenvolvendo a litografia maskless para a fabricação do IC.

O projecto de três anos é conduzido por CEA-Leti, instituto de investigação Francês principal do semicondutor, e igualmente inclui fabricantes TSMC e STMicroelectronics do semicondutor. Está avaliando uma infra-estrutura maskless da litografia e o uso de ferramentas da Litografia do CARTÓGRAFO para a produção alta. O programa múltiplo da e-feixe-litografia cobre uma aproximação global à tecnologia, incluindo a avaliação da ferramenta, a modelação e da integração, a de manipulação de dados, da prototipificação e de custo do processo análise.

o “E-Feixe tem o potencial ser uma tecnologia viável para muitas camadas do processo da litografia de sub-22nm na lógica/na fabricação semicondutor da fundição,” disse Tadahiro Suhara, presidente e director geral de SOKUDO. “SOKUDO está tomando uma aproximação detalhada à preparação para o revestimento/desenvolve a prontidão do processo da trilha nas tecnologias múltiplas da litografia de sub-22nm, incluindo extensões da litografia de ArF da imersão, EUV e litografia do e-feixe. O CEA-Leti IMAGINA que a colaboração reune um esforço focalizado para permitir a litografia produção-digna do e-feixe, incluindo o múltiplo resiste a chave dos fabricantes à revelação de processo de sub-22nm.”

“Nós temos trabalhado com RF3 de SOKUDO revestimento-e-revelamos o sistema de trilha por muitos anos e o programa da IMAGINAÇÃO tirará proveito do conhecimento forte e apoio de SOKUDO em desenvolver os processos necessários para apoiar a tecnologia maskless,” disse a Sarja Tedesco, gestor de programa CEA-Leti. “A experiência de CEA-Leti na tecnologia do e-feixe combinada com os SOKUDO revestimento-e-revela a experiência da trilha ajudará seguro a infra-estrutura necessária do processo para a multi litografia do e-feixe.”

A Litografia B.V. do CARTÓGRAFO, baseada na Louça de Delft, Os Países Baixos, faz máquinas da maskless-litografia para a indústria do semicondutor. Está apoiando o projecto da IMAGINAÇÃO com suas plataformas maciça paralelas do elétron-feixe.

Source: http://www.leti.fr/

Last Update: 12. January 2012 09:36

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