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Carl Zeiss ORION Además helio se mueve más allá de imágenes de microscopio iónico de sub-nanométrica para Nanofabricación

Published on September 20, 2010 at 8:42 AM

Los científicos están investigando nuevos usos para la microscopía de iones de helio en la nano-patrón. Ya que no está limitado por el efecto de proximidad convencionales e-litografía por haz, la tecnología de iones de helio parece ser una alternativa hacia arriba y viene, sobre todo cuando se trata de imprimir cada vez más finas características.

Durante más de dos años, la ORION ® Además de helio microscopio iónico de Carl Zeiss ha sido conocida por su excelencia en la imagen sin recubrimiento aislante de las muestras y materiales blandos con resolución sub-nanométrica (resolución especificación <0,35 nm). Ahora - con una creciente base instalada de instrumentos ORION - académicos e industriales de I + D microscopistas están ampliando la diversidad de aplicaciones que incluyen la nano-fabricación.

Los investigadores han modelado 5 puntos nm en un campo de 14 nm, mientras que otros equipos han demostrado bien delineados bar L-líneas en HSQ resistir. Este nuevo régimen de la fidelidad patrón es permitido por la gran profundidad de campo del microscopio y por el corto alcance de los iones inició electrones secundarios en materiales típicos de resistir. El helio-ion patrones definidos en HSQ puede ser obtenida sin el habitual proceso de estrechos límites ventana a menudo asociados con la litografía convencional óptico y haz de electrones.

De acuerdo con Wei Wu, un cliente de Orion nuevo, y un científico de investigación senior en información Stan Williams y Quantum Systems Lab de HP Labs en Palo Alto, California, "Estamos deseando ampliar nuestra investigación sobre la fabricación y las imágenes de los más pequeños nano posible - electrónica y cuenta con nano-fotónica. Vemos el instrumento ORION como una herramienta única y poderosa que nos permitirá continuar nuestro récord de la investigación. "

Para obtener más información acerca de este importante avance, visite el Carl Zeiss SMT en el stand Congreso Internacional de Microscopía (IMC17) en Río de Janeiro, Brasil, el 19 a 24 sept, 2010, o póngase en contacto con Carl Zeiss SMT representante de ventas.

Last Update: 9. October 2011 18:11

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