Carl Zeiss ORION Plus le Microscope d'Ion d'Hélium Déménage Au Delà de la Représentation de Sous-Nanomètre à la Nanofabrication

Published on September 20, 2010 at 8:42 AM

Les Scientifiques vérifient actuel des utilisations neuves pour la microscopie d'Ion d'Hélium dans la nano-structuration. Puisqu'elle n'est pas limitée par l'effet de proximité de la lithographie conventionnelle d'e-poutre, la technologie d'Ion d'Hélium semble être une alternative d'avenir, particulièrement quand il s'agit d'estamper des caractéristiques techniques toujours plus fines.

Pendant plus de deux années, l'ORION® Plus le Microscope d'Ion d'Hélium de Carl Zeiss a été connu pour son excellence en échantillons isolants non-enduits de représentation et matériaux mous avec la sous définition de nanomètre (cahier des charges de définition < 0,35 nanomètres). Maintenant - avec un élevage a installé la base des instruments d'ORION - les microscopistes scolaires et industriels de R&D étendent la diversité des applications pour inclure la nanofabrication.

Les Chercheurs ont modelé 5 points de nanomètre sur une hauteur de son de 14 nanomètre tandis que d'autres équipes ont expliqué les lignes bien tracées de L-Barre dans HSQ résistent. Ce régime neuf de la fidélité de configuration est activé par la grande profondeur de la zone du microscope et par l'à courte portée des électrons secondaires initiés par ion dans particulier résistez aux matériaux. des configurations définies parIon dans HSQ peuvent facilement être obtenues sans contraintes de processus étroites habituelles d'hublot souvent associées avec la lithographie conventionnelle optique et d'e-poutre.

Selon Wei Wu, une abonnée neuve d'Orion, et un scientifique supérieur de recherches en Laboratoire de l'Information de Stan William et de Systèmes de Quantum aux Laboratoires HP à Palo Alto, la Californie, « Nous attendons avec intérêt de promouvoir notre recherche concernant la fabrication et la représentation des plus petites possibles caractéristiques techniques électroniques et nano-photoniques nanoes. Nous voyons l'ORION équiper en tant que seul, le puissant outil qui nous permettra de continuer notre recherche record. »

Pour apprendre plus au sujet de ce développement passionnant, visitez la cabine de Carl Zeiss SMT au Congrès International de Microscopie (IMC17) dans le Rio de Janeiro, Brésil, les 19-24 septembre 2010, ou entrez en contact avec votre représentant de commerce de Carl Zeiss SMT.

Last Update: 12. January 2012 09:21

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