Carl Zeiss ORION Ditambah Bergerak Helium Ion Microscope luar Sub-Nanometer Imaging untuk Nanofabrication

Published on September 20, 2010 at 8:42 AM

Para ilmuwan sedang menyelidiki penggunaan baru untuk mikroskopi Helium Ion dalam nano-pola. Karena tidak dibatasi oleh efek kedekatan konvensional e-beam lithography, Helium Ion teknologi tampaknya menjadi alternatif up-dan-datang, terutama ketika datang ke percetakan yang pernah fitur yang lebih halus.

Selama lebih dari dua tahun, ORION ® Ditambah Helium Ion Microscope dari Carl Zeiss telah dikenal untuk keunggulan dalam pencitraan sampel dilapisi isolasi dan bahan yang lembut dengan sub-nanometer resolusi (resolusi spesifikasi <0,35 nm). Sekarang - dengan dasar terinstal tumbuh instrumen ORION - akademik dan industri R & D microscopists memperluas keragaman aplikasi untuk memasukkan nano-fabrikasi.

Para peneliti telah berpola titik nm 5 di lapangan nm 14 sementara tim lain telah menunjukkan dengan baik digambarkan L-bar baris di HSQ menolak. Ini rezim baru pola kesetiaan diaktifkan oleh kedalaman besar bidang mikroskop dan oleh berbagai singkat ion dimulai elektron sekunder dalam khas menolak bahan. Helium-ion pola didefinisikan dalam HSQ dengan mudah dapat diperoleh tanpa kendala jendela proses biasa yang sempit sering dikaitkan dengan litografi optik dan e-beam konvensional.

Menurut Wei Wu, seorang pelanggan Orion baru, dan seorang ilmuwan riset senior di Informasi Stan William dan Quantum Sistem Lab di HP Labs di Palo Alto, California, "Kami berharap untuk melanjutkan penelitian kami mengenai fabrikasi dan pencitraan nano terkecil yang mungkin - nano-elektronik dan fotonik fitur. Kita melihat instrumen ORION sebagai alat, unik kuat yang akan memungkinkan kita untuk terus memecahkan rekor penelitian kami. "

Untuk mempelajari lebih lanjut tentang perkembangan menarik, kunjungi Carl Zeiss SMT di stan Mikroskopi Kongres Internasional (IMC17) di Rio de Janeiro, Brasil, pada September 19-24, 2010, atau hubungi Anda Carl Zeiss SMT perwakilan penjualan.

Last Update: 7. October 2011 09:32

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit