Carl Zeiss ORION Inoltre Elio Sposta Microscopio ioni Al di là di sub-nanometrica Imaging per Nanofabrication

Published on September 20, 2010 at 8:42 AM

Gli scienziati stanno attualmente indagando nuovi usi per microscopia ioni di elio in nano-patterning. Poiché non è limitato dall'effetto prossimità del tradizionale e-litografia a fascio, la tecnologia agli ioni di elio sembra essere un up-and-coming alternative, in particolare quando si tratta di stampa mai le caratteristiche più fini.

Per oltre due anni, la ORION ® Plus. elio Microscopio Ion da Carl Zeiss è stato conosciuto per la sua eccellenza nella diagnostica per immagini non patinati campioni isolanti e materiali morbidi con risoluzione sub-nanometrica (risoluzione specifica <0.35 nm). Ora - con una crescente base installata di strumenti ORION - accademici e industriali di R & D sono microscopisti estendere la varietà di applicazioni da includere nano-fabbricazione.

I ricercatori hanno modellato 5 punti nm su un campo da 14 nm, mentre altre squadre hanno dimostrato ben delineate L-bar linee HSQ resistere. Questo nuovo regime di fedeltà modello è abilitato per la grande profondità di campo del microscopio e dal corto raggio dello ione iniziato elettroni secondari in tipico resistere materiali. Modelli definiti agli ioni di elio in HSQ può facilmente essere ottenuta senza i vincoli processo solita stretta finestra spesso associata convenzionale litografia ottica ed e-beam.

Secondo Wei Wu, un cliente Orion nuovo, e un ricercatore senior in Informazione Stan William and Quantum Systems Lab presso i laboratori HP di Palo Alto, in California, "Siamo lieti di approfondire la nostra ricerca per quanto riguarda la fabbricazione e imaging del piccolo nano possibile - elettronici e nano-fotonica caratteristiche. Vediamo lo strumento ORION come un unico, potente strumento che ci permetterà di continuare il nostro record di ricerca ".

Per saperne di più su questo entusiasmante sviluppo, visitare il Carl Zeiss SMT stand al Microscopia Congresso Internazionale (IMC17) di Rio de Janeiro, in Brasile, il 19-24 settembre 2010, o contattare il proprio obiettivo Carl Zeiss SMT rappresentante di vendita.

Last Update: 11. October 2011 04:39

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