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칼 자이스 혈구 오리온 플러스 Nanofabrication하려면 하위 나노미터 이미징 외에도 헬륨 이온 현미경 이동

Published on September 20, 2010 at 8:42 AM

과학자들은 현재 나노 patterning에 헬륨 이온 현미경을위한 새로운 사용을 조사하고 있습니다. 그것이 기존 e - 빔 리소그래피의 근접 효과에 의해 제한되지 않기 때문에, 헬륨 이온 기술은 가장 미세한 기능을 인쇄하는 것이 특히 오는 때, 떠오르는 대안 것 같습니다.

2 년 동안은 ORION ® 플러스에서 헬륨 이온 현미경 칼 자이스 혈구는 이미징 년 우수 서브 나노미터 해상도 (해상도 사양 <0.35 NM)와 uncoated 절연 샘플과 부드러운 재료를 알려져 있습니다. 지금 - 오리온 악기의 증가 설치된 기지 - 학문과 산업 R & D의 microscopists는 나노 제조를 포함하는 응용 프로그램의 다양성을 확장하고 있습니다.

다른 팀들이 저항 HSQ에 잘 delineated L - 바 라인을 보여준 반면 연구팀은 14 nm의 피치 5 나노미터 점을 패턴 있습니다. 패턴 성실이 새로운 제도가 현미경 분야의 대형 깊이에 의해 그리고 이온의 짧은 범위에 의해 활성화된 것은 전형적인 저항 자료에 이차 전자를 시작하였습니다. HSQ에 헬륨 이온 정의된 패턴이 쉽게 자주 종래의 광학 및 전자 빔 리소그래피와 관련된 일반적인 좁은 프로세스 창 제한없이 구할 수 있습니다.

웨이 우, 새로운 오리온 고객, 그리고 스탠 윌리엄의 정보와 팔로알토, 캘리포니아에있는 HP 연구소에서 양자 시스템 연구실에서 수석 연구하는 과학자에 따르면 "우리는 가능한 가장 작은 나노의 제조 및 이미징에 관한 연구를 발전 기대 - 전자 및 나노 광자 있습니다. 우리는 우리가 기록적인 연구를 계속할 수 있도록하는 독특하고 강력한 도구로 오리온의 악기를 참조하십시오. "

이 흥미 진진한 개발에 대한 자세한 내용을 보시려면 9월 19일에서 24일까지, 2010에 리우데 자네이루, 브라질에 국제 대회 현미경 (IMC17)에서 칼 자이스 혈구 SMT 부스를 방문하거나, 칼 자이스 혈구 SMT 영업 담당자에게 문의하십시오.

Last Update: 14. October 2011 12:11

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