Carl Zeiss ORION Além disso Move Hélio Ion Microscope Beyond Nanometer Sub-Imaging para Nanofabricação

Published on September 20, 2010 at 8:42 AM

Os cientistas estão investigando novos usos para Hélio microscopia Ion em nano-padronização. Uma vez que não é limitado pelo efeito de proximidade e de litografia de feixe convencional, Hélio tecnologia Ion parece ser uma alternativa up-and-vinda, especialmente quando se trata de impressão cada vez mais finas características.

Por mais de dois anos, o ORION ® Além disso Hélio Ion Microscope da Carl Zeiss tem sido conhecida por sua excelência em imagem sem revestimento isolante e amostras de materiais macios, com sub-nanométrica resolução (resolução especificação <0,35 nm). Agora - com uma crescente base instalada de instrumentos ORION - acadêmico e industrial R & D microscopistas estão ampliando a diversidade de aplicações para incluir nano-fabricação.

Pesquisadores têm modelado 5 pontos nm em um campo de 14 nm, enquanto outras equipes têm demonstrado bem delineados L-bar linhas em HSQ resistir. Este novo regime de fidelidade padrão é ativado pelo grande profundidade de campo do microscópio e pela curta distância do íon iniciado elétrons secundários no típico resistir materiais. Hélio-ion padrões definidos no HSQ pode ser facilmente obtida sem a usual restrições do processo estreita janela freqüentemente associada com litografia óptica e e-feixe convencional.

De acordo com Wei Wu, um cliente Orion novo, e um cientista de pesquisa sênior em Informação Stan William e Sistemas Quantum Lab no HP Labs, em Palo Alto, Califórnia, "Estamos ansiosos para aprofundar nossas pesquisas sobre a fabricação e imagem das menores nano possível - eletrônica e nano-fotônicos características. Vemos o instrumento ORION como uma ferramenta única e poderosa que nos permitirá continuar nossa pesquisa recorde. "

Para saber mais sobre este excitante desenvolvimento, visite o estande da Carl Zeiss SMT no International Microscopy Congress (IMC17) no Rio de Janeiro, Brasil, em 19-24 setembro de 2010, ou entre em contato com Carl Zeiss SMT representante de vendas.

Last Update: 11. October 2011 21:46

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