卡尔蔡司欧丽安加上超越亚纳米成像氦离子显微镜移动到纳米加工

Published on September 20, 2010 at 8:42 AM

科学家目前正在研究氦离子显微镜在纳米图形的新用途。由于它不是由传统的电子束光刻的邻近效应有限,氦离子技术似乎是一个和未来的替代品,尤其是当谈到以往印刷更精细的特点。

两年多来,“猎户座”®加氦离子显微镜卡尔蔡司已经在成像已知其卓越的无涂层的绝缘样品亚纳米分辨率(分辨率规格<0.35纳米)和软质材料。 - 猎户座的仪器越来越安装基地 - 学术界和工业界研发显微镜正在扩大应用的多样性,包括纳米制造。

研究人员有图案的5一个14纳米的间距的纳米点,而其他球队已经证明,在H​​SQ以及划定L型线抵抗。显微镜领域的大深度和短距离的离子启用这个新政权图案逼真,是典型的抵抗材料发起二次电子。 HSQ氦离子定义模式可以很容易地获得,没有通常的狭窄往往与传统的光学和电子束光刻工艺窗口约束。

据魏吴,一个新的猎户座大客户,和一个在斯坦威廉的信息和量子系统实验室惠普在加利福尼亚州帕洛阿尔托实验室,高级研究科学家“我们期待向前推进我们的研究有关的制造和的最小可能的纳米成像 - 电子和纳米光子的功能。我们看到作为一个独特的,强大的工具,将使我们能够继续我们的破纪录的研究的欧丽安仪器。“

为了了解这一激动人心的发展,在国际显微镜大会(IMC17)在里约热内卢,巴西,访问于2010年9月19-24,卡尔蔡司SMT展位,或联系您的卡尔蔡司SMT销售代表。

Last Update: 7. October 2011 11:33

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