AIXTRON reçoit une commande pour Black Magic Système Plasma Enhanced CVD à partir Nanotechnology Center

Published on October 5, 2010 at 3:39 AM

AIXTRON AG , un fournisseur leader d'équipements de dépôt à l'industrie des semi-conducteurs, a annoncé aujourd'hui une commande de l'ETH Zurich pour une Black Magic Plasma Enhanced CVD système doit être installé au Centre de nanotechnologie à Ruschlikon, Suisse. Le Centre de nanotechnologie est un unique, partenariat public-privé entre IBM Research et l'ETH Zurich. Le nouveau système, utilisé pour le dépôt mur seul nanotube de carbone, est de 6 pouces dans la configuration et sera commandée par l'équipe de soutien AIXTRON locaux dans le premier trimestre de 2011.

Dr Christofer Hierold, professeur de micro et nanosystèmes, Département de génie mécanique et des procédés à l'ETH Zurich, commente: "Nous avons été à la recherche d'un système qui soit suffisamment souple pour répondre aux exigences d'un laboratoire multi-utilisateurs servant à la fois l'ETH et IBM . Système AIXTRON Black Magic est satisfait à cette exigence et s'adapte à nos besoins quand nous le coup d'envoi avancés de carbone nanomatériaux de recherche au Centre de nanotechnologie. "

Systèmes AIXTRON de Black Magic utilisation unique de chauffage rapide et technologies plasma qui ont été éprouvées sur le terrain depuis 2005. Ils ont permis à de nombreux établissements de recherche partout dans le monde pour produire des nanotubes de carbone et le graphène.

Le Centre de nanotechnologie est un centre de recherche dédié aux nouvelles construite à cet effet des chambres propres et "sans bruit" laboratoires protégés contre les vibrations externes, le bruit acoustique, les champs électromagnétiques et les fluctuations de température. Le but de ce nouveau laboratoire est de pousser les frontières de la recherche sur les matériaux semi-conducteurs et des dispositifs nouveaux.

Last Update: 3. October 2011 23:37

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