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AIXTRON는 나노기술 센터에서 마술 플라즈마 CVD 향상된 시스템에 대한 주문을 받는다

Published on October 5, 2010 at 3:39 AM

AIXTRON AG , 반도체 산업에 증착 장비의 선도적인 공급자는, 오늘 Ruschlikon, 스위스에있는 나노 센터에 설치 될 수있는 마술 플라즈마 CVD 향상된 시스템 ETH 취리히에서 명령을 발표했다. 나노 센터는 IBM 연구 ETH 취리히 사이에 독특한, 공공 민간 파트너십입니다. 단일 벽 탄소 나노튜브 증착에 사용되는 새로운 시스템은, 구성에 6 인치이며 2011의 첫 번째 분기 지역 AIXTRON 지원팀 의뢰합니다.

박사 Christofer Hierold, 마이크로와 Nanosystems 교수, ETH 취리히, 댓글에서 기계 공정 공학과, "우리는 ETH와 IBM을 모두 제공하는 다중 사용자 연구실의 요구 사항을 충족하기에 충분한 유연성있는 시스템을 찾고있다 . AIXTRON의 블랙 매직 시스템은이 요구 사항을 충족하고 우리가 나노기술 센터에서 첨단 탄소 nanomaterial 조사를 시작할 때 우리의 필요에 맞는 것입니다. "

AIXTRON의 블랙 매직 시스템은 고유의 빠른 가열과 2005 년부터 현장 입증된 플라즈마 기술을 사용합니다. 그들은 탄소 나노튜브와 graphene을 생산하기 위해 전세계 많은 선도적인 연구 기관을 활성화합니다.

나노 센터는 전용 깨끗한 객실 및 외부 진동, 음향 소음, 전자파 분야 및 온도 변동에 대한 차폐된 "소음없는 '연구소 전용 새로운 연구 시설입니다. 새로운 실험의 목적은 새로운 반도체 재료 및 장치에 연구의 국경을 눌러 것입니다.

Last Update: 9. October 2011 05:26

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