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AIXTRON は AIX G5 HT MOCVD リアクターのためのフォーモサのエピタクシーから順序を受け取ります

Published on October 12, 2010 at 3:34 AM

2010 年の第二期で、フォーモサ Epitaxy Inc. (FOREPI) が、超高度の明るさ GaN ベースの LEDs のために使用される 56x2 インチの AIX G5 HT MOCVD リアクターのための注文したことを AIXTRON AG (UHB) 今日発表しました。 肺タンの会社の最新式機能で FOREPI の多重高いスループット惑星リアクターシステムを結合する 2010 年の第四四半期、タオユワン、台湾で出荷されることを計画しました。

フェンRen Chien FOREPI の大統領先生の注釈: 「これは私達の会社の最初 AIX G5 HT システムで、スムーズに新しいリアクターに私達のプロセス調理法を転送することを私達を許可します。 これが証明されれば私達は生産をより多くのシステムの購入に順方向に見てもいいです。

AIXTRON システムがなぜ選択されたか理由は G4 および CRIUS のような私達の既存のシステムのすべての円形の優秀なパフォーマンスに来ます。 それ故に私達に - G5 および CRIUS II. のような… AIXTRON の最近進水させた製品の取得の強い興味があります。 正常な調理法の転送の後で、 FOREPI は運動させます私達が G5 システムからいいすべての利点に、既に優秀な GaN/InGaN の均等性に終って 600 の mbar の上の非常に高い成長率そして高圧で GaN の良質の沈殿を得ても示す」。

G5 はパフォーマンスおよび生産性で製造業者に丁度デマンドが高い市場条件を満たす高度の生産の解決を、提供します。 従って特殊機構は新しい高い成長のレートの注入器、グラファイトの天井、また EqiSat を含んでいて、すべての衛星/ウエファーの同一の表面温度を可能にし、更にプロセス収穫を改良します。

10 年以上、 FOREPI は高い発電の InGaN LED ウエファーおよびチップのピュアプレイの製造に焦点を合わせ、ずっと高度の高性能 HB-LED の製品の製造のための AIXTRON システムの長い間のユーザーです。 それは LCD TV の逆光照明のようなハイエンドアプリケーションの必要性を満たすことの視力をセットし、今日の現在の強い要求はその作戦の正しさを証明しました。

ターム CRIUS® は登録商標です。

Last Update: 12. January 2012 10:50

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