Le Groupe d'EV Dévoile la Technologie Moléculaire Douce de Lithographie de Nanoimprint d'Échelle

Published on October 14, 2010 at 5:29 AM

Le Groupe d'EV (EVG), un principal fournisseur de matériel de métallisation et de lithographie de disque pour le MEMS, nanotechnologie et marchés de semi-conducteur, ont aujourd'hui dévoilé une capacité de technologie neuve qui active la structuration d'ultra-haut-définition des caractéristiques techniques vers le bas à 12,5 nanomètre : Lithographie Moléculaire Douce de Nanoimprint d'Échelle (SMS-NIL).

Basé sur les systèmes prouvés de l'UV-NIL d'EVG, SMS-NIL fournit à des abonnées un procédé reproductible et rentable pour produire l'ultra-haut-définition modelant sur des surfaces de vaste zone.  Utilisant le procédé fonctionnant doux de nanoimprint de l'estampille de technologie neuve, les abonnées peuvent exécuter des nanoimprints de plein-zone et UV-NIL optiquement aligné sur le matériel existant d'EVG.  De Même, l'estampille et l'impression peuvent être traitées sur le même outil sans exiger les abonnées de traitement supplémentaires temps de traitement significatif et argent de phase-épargne.

UV-NIL offre un coût de traitement sensiblement inférieur que d'autres techniques de nano-structuration, effectuant lui une solution attrayante pour des Capteurs d'image cmos, à moulage micro de lentille et à d'autres applications optiques où la technologie déjà est utilisée.  SMS-NIL prend à cet élan une mesure davantage, utilisant fonctionner polymère doux timbre pour éviter les estampilles principales coûteuses dommageables.  Les propriétés inhérentes du matériau d'estampille réduisent grand le risque des dégâts mécaniques aux descripteurs principaux, de ce fait étendant leur vie.  Fonctionner a timbré l'énergie extérieure relativement faible facilite la séparation du substrat après le procédé de impression, alors que leur souplesse permet aux estampilles d'être utilisées pour les empreintes multiples.

Gérald Kreindl, chef de produit pour la lithographie de nanoimprint au Groupe d'EV, a dit, « Pour plus de 10 ans, nous avons mis à jour un foyer intense de technologie sur la lithographie de nanoimprint et graver chaud.  SMS-NIL est le point culminant de nos efforts pour relever les défis des abonnées dans cette zone en produisant l'ultra-haut-définition modelant qu'ils ont besoin dans un procédé qui est reproductible et affiche la promesse grande pour la fabrication à fort débit rentable.  Cette capacité de technologie neuve est une autre phase dans la mission du Groupe d'EV pour augmenter nos solutions techniques existantes tout en poursuivant la recherche et développement tranchante pour des produits nouveaux et des applications.  Cette introduction de technologie est également une étape importante en lithographie de commercialisation de nanoimprint comme petit prix, haut-débit, technique de lithographie d'ultra-haut-définition. »

Le Groupe d'EV offre deux options flexibles d'achat pour SMS-NIL.  Les Abonnées qui sont intéressées à produire fonctionner timbre intérieurement peuvent acheter des services de consultants de technologie de la transformation du Groupe d'EV pour activer leur propre développement d'applications.  Le Groupe d'EV offre également l'option d'acheter les estampilles fonctionnantes disponibles pour le traitement.  La technologie neuve est compatible avec les systèmes de impression UV-basés prouvés d'EVG, y compris le Dispositif D'alignement d'EVG620, d'EVG6200, de QI et EVG770.

Ceux intéressés à apprendre plus au sujet de la technologie du SMS-NIL d'EVG et du portefeuille grand du matériel de métallisation et de lithographie de disque sont invités à rendre visite à la compagnie pendant la Neuvième Conférence Internationale sur la Technologie de Nanoimprint et de Nanoprint (NNT), 13-15 octobre 2010, au Premier Hôtel Skt. Pétri, Copenhague, Danemark.

Source : http://www.EVGroup.com/

Last Update: 12. January 2012 20:02

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