EV Group은 소프트 분자 스케일 Nanoimprint 리소그래피 기술을 발표

Published on October 14, 2010 at 5:29 AM

소프트 분자 스케일 Nanoimprint 리소그래피 : EV 그룹 (EVG), MEMS, 나노 및 반도체 시장 웨이퍼 본딩 및 리소그래피 장비의 선도적인 공급 업체는 오늘 12.5 nm의 기능의 초고 해상도 patterning을 수있는 새로운 기술 기능을 발표 (SMS 대 0).

EVG의 입증된 자외선 대 0으로 시스템에 따라, SMS 대 0은 큰 면적 표면에 초고 해상도 patterning 생산을위한 반복, 비용 효율적인 프로세스를 고객에게 제공합니다. 새로운 기술의 부드러운 작동 우표 nanoimprint 프로세스를 사용하여, 고객은 전체 지역 nanoimprints을 수행할 수 있으며, 기존의 광학 EVG 장비에 UV 대 0으로 정렬. 마찬가지로, 우표 및 각인은 추가 처리없이 동일한 도구를 처리할 수 단계를 절약 고객에게 상당한 처리 시간과 비용을.

UV 대 0은 CMOS 이미지 센서, 마이크로 렌즈 성형 및 기술이 이미 사용중인 다른 광학 응용 프로그램을위한 매력적인 솔루션으로 만들고, 다른 나노 patterning 기술보다 훨씬 낮은 처리 비용을 제공합니다. SMS 대 0이 손상 비용이 많이 드는 마스터 우표를 방지하기 위해 부드러운 고분자 작업 우표를 고용, 더 나아가이 방법을 걸립니다. 도장 재료의 본질적 속성은 크게 때문에 자신의 수명을 연장, 마스터 템플릿 기계적 손상의 위험을 줄일 수 있습니다. 그들의 유연성이 우표가 여러 인쇄물에 사용할 수있는 반면 작업 우표 '상대적으로 낮은 표면 에너지는 각인 과정 후 기판에서 분리를 용이하게합니다.

제럴드 Kreindl, EV 그룹의 nanoimprint 리소그래피의 제품 매니저는, 10 년 이상, 우리는 nanoimprint 리소그래피 및 핫 엠보싱에 강력한 기술을 초점을 지켰다 "고 말했다. SMS 대 0가 고객의 문제를 해결하기 위해 우리의 노력의 절정이다 그들은 반복하고 비용 효율적인 대량 생산을위한 큰 약속을 보여주는 과정에서 필요한 초고 해상도 patterning을 작성하여이 영역.이 새로운 기술 기능은 기존 기술 솔루션 동안을 향상시키기 위해 EV 그룹의 임무는 다른 단계입니다 새로운 제품과 애플 리케이션을위한 최첨단 연구와 개발을 추구.이 기술 도입은 또한 낮은 비용, 높은 처리량, 초고 해상도 리소그래피 기술로 nanoimprint 리소그래피의 상용화에 중요한 단계입니다. "

EV Group은 SMS 대 0의 두 가지 유연한 구매 옵션을 제공합니다. - 집안에서 작업 우표 제작에 관심이있는 고객은 자신의 응용 프로그램 개발을 활성화하기 위해 EV 그룹의 공정 기술 컨설팅 서비스를 구입할 수 있습니다. EV Group은 또한 처리를위한 준비 작업 우표를 구입하는 옵션을 제공합니다. 새로운 기술은 EVG620 포함한 EVG의 입증된 UV - 기반 각인 시스템, EVG6200, IQ Aligner와 EVG770와 호환됩니다.

EVG의 SMS 대 0으로 기술 및 웨이퍼 본딩 및 리소그래피 장비의 광범위한 포트폴리오에 대한 자세한 내용을 학습에 관심있는 사람은 먼저 호텔에서 Nanoimprint 및 Nanoprint 기술 (NNT), 10월 13일에서 15일까지 2010에 9 국제 회의 기간 동안 회사를 방문 초대 SKT. 페트리, 코펜하겐, 덴마크.

출처 : http://www.EVGroup.com/

Last Update: 12. October 2011 14:18

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