EV Groep onthult Soft moleculaire schaal Nanoimprint lithografie technologie

Published on October 14, 2010 at 5:29 AM

EV Group (EVG), een toonaangevende leverancier van wafer binding en lithografie-apparatuur voor de MEMS, nanotechnologie en halfgeleiders, heeft vandaag een nieuwe technologie capaciteit die ultra-hoge resolutie patroon van functies kan tot 12,5 nm: Soft moleculaire schaal Nanoimprint Lithography (SMS-NIL).

Gebaseerd op bewezen UV-NIL EVG systemen, SMS-NIL biedt klanten een herhaalbare, kosten-effectief proces voor het produceren van ultra-hoge resolutie patronen op grote-area oppervlakken. Met behulp van zachte de nieuwe technologie werkt stempel nanoimprint proces, kunnen klanten uitvoeren full-area nanoimprints en optisch uitgelijnd UV-NIL op bestaande EVG apparatuur. Ook kan het stempel en de inprenting worden verwerkt op dezelfde tool zonder dat er extra processtappen te besparen klanten significant verwerking van tijd en geld.

UV-NIL biedt een aanzienlijk lagere verwerkingskosten dan andere nano-patronen technieken, waardoor het een aantrekkelijke oplossing voor CMOS-beeldsensoren, micro lens gieten en andere optische toepassingen waar de technologie al gebruikt wordt. SMS-NIL neemt deze benadering een stap verder, in dienst zacht polymeer werken postzegels om schade aan kostbare meester postzegels te vermijden. De stempel materiaal inherente eigenschappen sterk verminderen het risico op mechanische schade te beheersen templates, waardoor verlenging van hun levensduur. De werkende stempels 'relatief lage oppervlakte-energie vergemakkelijkt scheiding van het substraat na de imprint-proces, terwijl hun flexibiliteit kunnen de postzegels worden gebruikt voor meerdere afdrukken.

Gerald Kreindl, product manager voor nanoimprint lithografie op EV Group, zei: "Al meer dan 10 jaar, hebben we een sterke technologie focus op nanoimprint lithografie en warme embossing onderhouden. SMS-NIL is het resultaat van onze inspanningen om klanten te 'uitdagingen in op dit gebied door het creëren van de ultra-hoge resolutie patronen die ze nodig hebben in een proces dat herhaalbaar is en toont een grote belofte voor een kosteneffectieve high-volume productie. Deze nieuwe technologie mogelijkheid is een nieuwe stap in de missie van EV Groep om onze bestaande technologie oplossingen, terwijl vergroten het nastreven van cutting-edge onderzoek en ontwikkeling voor nieuwe producten en toepassingen. Deze technologie inleiding is ook een belangrijke stap in de commercialisering van nanoimprint lithografie als een low-cost, high-throughput, ultra-hoge resolutie lithografie techniek. "

EV Group biedt twee flexibele aankoop van opties voor SMS-NIL. Klanten die geïnteresseerd zijn in het produceren van de werken postzegels in huis kan kopen EV Groep proces technologie consultancy-diensten aan hun eigen applicatie-ontwikkeling mogelijk te maken. EV Group biedt ook de optie tot koop van werken postzegels klaar voor verwerking. De nieuwe technologie is compatibel met bewezen UV-gebaseerde imprinting EVG's systemen, waaronder de EVG620, EVG6200, IQ Aligner en EVG770.

Wie geïnteresseerd is om meer te leren over de EVG's SMS-NIL-technologie en brede portfolio van wafer binding en lithografie-apparatuur worden uitgenodigd om het bedrijf te bezoeken tijdens de negende Internationale Conferentie over Nanoimprint en Nanoprint Technology (NNT), 13-15 oktober 2010, bij First Hotel Skt. Petri, Kopenhagen, Denemarken.

Bron: http://www.EVGroup.com/

Last Update: 6. October 2011 20:10

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit