Participantes no 7o Simpósio Internacional Anual recente em estratégias discutidas da Pilha da Porta Tecnologia Avançada para executar tecnologias avançadas da lógica e de memória para o nó de sub-16 nanômetro e além das tecnologias de processamento.
O Simpósio, hospedado por SEMATECH, seleccionou mais de 100 pesquisadores internacionais da indústria e da academia que compartilharam de descobertas recentes e estratégias novas esboçadas da pilha da porta para a geração da tecnologia de 16 nanômetro e além.
“Nós somos muito satisfeitos com a participação global na conferência, e com o resultado - na exploração das soluções para pilhas funcionais para os dispositivos futuros,” disse Kirsch de Paul, o director de SEMATECH de processos da parte frontal. “O sucesso Do Simpósio pode ser atribuído à largura e à profundidade de seus participantes e de seus resultados da pesquisa. SEMATECH continuará a trabalhar colaboradora com a indústria em edições fundamentais em estender tecnologias da lógica e de memória do CMOS.”
As tecnologias cobertas eram pilhas altas-k/do metal porta para o Silicone (Si), o Germânio do Silicone (SiGe), os MOSFETs do elevado desempenho de III-V, o metal/pilhas altas-k/metal para a memória da mudança da resistência, a memória Flash, e a memória da mudança de fase.
As observações Chaves incluem:
- O Progresso está sendo feito em dispositivos materiais do Ge e do canal alternativo de III-V, embora haja um reconhecimento geral entre participantes do Simpósio que esta área exigirá mais esforço e mais recursos para demonstrar soluções manufacturable.
- Os Vários apresentadores endereçaram os desafios funcionais da pilha para a lógica e a memória centradas na porta alta-k do metal para o Si, SiGe tão bem quanto interesses sobre MOSFETs do elevado desempenho de III-V.
- O Consenso dos participantes é embora haja muitos obstáculos a superar, empilhamento vertical parece o caminho o mais prometedor para a escamação continuada.
- Para deslocar a diminuição na escamação e conseguir uns materiais da confiança da uniformidade e do endereço, e uns mecanismos mais novos, mais inovativos do interruptor de memórias permanentes precisam de ser investigados mais.
Outros resultados divulgados no Simpósio:
- Os apresentadores Principais, da Tecnologia de Intel e Grupo e Macronix de Fabricação forneceram uma vista geral detalhada de opções da escamação do transistor além do nó de 15 nanômetro e os desafios das memórias permanentes que incluem a porta de flutuação para dispositivos planares e não-planares.
- As edições Altas-k/do metal porta do processo foram discutidas por SONY, Toshiba, IBM e GLOBALFOUNDRIES, destacando emite com escamação da pilha.
- Andrew Kummel do University Of California, San Diego discutiu as simulações densidade-funcionais (DFT) da teoria que sugere caminhos práticos para melhorar a qualidade de óxidos altos-k no Ge e nas relações de III-V.
- Na área da revelação emergente da memória, a memória da mudança da resistência é considerada ser um dos candidatos os mais prometedores para a próxima geração de memória. Os Vários materiais, dispositivos do selector e arquiteturas foram apresentados. As arquiteturas da barra Transversal foram discutidas para a memória futura.
- O progresso impressionante em Transferência do Torque da Rotação (STTRAM) foi discutido por Grandis, por Everspin e pela Universidade de Virgínia.
- Diversas apresentações exploraram materiais e arquiteturas novos ou alternativos além dos dispositivos do CMOS para 2020, incluindo dispositivos da rotação do elétron, graphene, e transistor do nanowire. O Prof. Kang Wang da Universidade Da California em Los Angeles relatou que a injecção eficiente da rotação no Ge estêve realizada usando o óxido de magnésio (MgO) e está sendo aperfeiçoada para o torque de transferência da rotação.
O Simpósio Internacional em Tecnologia Avançada da Pilha da Porta é parte da Série do Conhecimento de SEMATECH, um grupo de público, reuniões único-focalizadas da indústria projetadas aumentar o conhecimento global nos pontos chave do R&D. do semicondutor.
Source: http://www.sematech.org/