옥스포드 인스 트루먼 트의 플라즈마 기술은 차세대 HBLED 일괄 생산 도구 출시

Published on October 18, 2010 at 7:16 PM

옥스포드 인스 트루먼 트의 플라즈마 기술은 플라즈마 에칭 및 증착 도구의 PlasmaPro ™ NGP ® 1000 HBLED 범위의 시작과 함께 HBLED 제조 업체에 대한 뛰어난 이점을 제공하고 있습니다. 61 X 2 "웨이퍼에서 업계를 선도하는 배치 크기 탁월한 처리량? 최대 7 고품질의 장치 성능 및 수율과 함께 X 6 "웨이퍼는 옥스포드 인스 트루먼 트가 뛰어난 HBLED 생산 제공과 함께 고객에게 제공할 수있게된다는 것을 의미합니다.

NGP1000 범위는 처리량, 극대화 가동 시간을 향상하고 안정적​​인 하드웨어 및 서비스의 용이성을 통해 소유 비용을 절감하도록 설계되었습니다.? NGP1000 플랫폼은 표준으로 진공로드 잠금 장치와 함께 일괄 생산을위한 최적화되었습니다. 열기로드 및 4 면체 클러스터 옵션을 사용할 수 있습니다.

"높은 밝기 LED가 (HBLEDs)이 백라이트 텔레비전에서 일반 조명으로, 어플 리케이션의 증가에 대한 조명 솔루션을 제공하는, 지금 우리의 삶의 중요한 일부"코멘트 마크 Vosloo, 옥스포드 인스 트루먼 트의 플라즈마 기술 영업 이사는 "업계는 justifiably 요구 높은 처리량, 장치의 품질과 낮은 소유 비용, NGP1000이 모든 솔루션을 제공합니다.

옥스포드 인스 트루먼 트의 플라즈마 기술 HBLED 생산 시스템의 광범위한 설치 기반으로, 15 년 이상 생산 시장에서 대량 배치 플라즈마 도구의 세계 선두 공급 업체되었습니다. 산업이 발전 지속으로, 우리는 우리의 고객에게 솔루션을 가장 최신을 제공하는 기술과 전문 지식을합니다. "

PlasmaPro NGP1000 PECVD 시스템은 SiO2와 SiNx 레이어의 증착을 위해 설계하고, 61 단일로드 X 2 ", 15 X 4", 7 X 6 "웨이퍼를 허용, 넓은 지역에 전극과 최적화된 샤워기의 디자인을 통합합니다. GaN, AlGaInP와 사파이어 식각을위한 PlasmaPro NGP1000 에칭 시스템, 웨이퍼 / 월 시장 선도 볼륨을 항복, 55 X 2 ", 13 X 4"또는 5 X 6 "배치 사이즈를 제공합니다.

넓은 영역 이상의 뛰어난 균일는 새로 도입된 60MHz 바이퍼 ™ 플라즈마 소스에 의해 제공됩니다. 이 혁신적인 소스는 높은 에칭 속도와 낮은 손상의 장점을 유지, ICP 소스에 비해 플라스마 밀도를 실현하고 있습니다.

이 최신 시스템 개발은 작은 규모에서 물질을 분석하고 조작하는 능력에 따라, 산업 및 연구 시장 차세대 도구와 시스템의 선두 업체로 옥스포드 인스 트루먼 트의 '목표를 강화. 이 회사는 21 세기의 위대한 도전을 해결하기 위해 연구와 산업을 지원하는 세계 수준의 제품에 스마트 과학을 설정하기 위해 혁신을 사용합니다.

Last Update: 10. October 2011 05:59

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