Oxford Instruments плазменных технологий выпускает следующее поколение HBLED Инструменты серийное производство

Published on October 18, 2010 at 7:16 PM

Oxford Instruments плазменных технологий является предоставление льгот для выдающихся HBLED производителей, с запуском PlasmaPro ™ NGP ® 1000 HBLED диапазон плазменного травления и осаждения инструменты. Беспрецедентная производительность с лидирующими в отрасли объем партии от 61 х 2 "пластин? до 7 х 6 "пластин в сочетании с высокой производительностью устройства качества и урожайности, означает, что Oxford Instruments имеет возможность предоставить клиентам исключительные HBLED предлагая продукцию.

NGP1000 диапазона была разработана для повышения пропускной способности, максимального времени бесперебойной работы и уменьшения стоимости владения за счет надежной аппаратной и простоту обслуживания.? NGP1000 платформа была оптимизирована для серийного производства, с замком вакуумной нагрузки в стандартной комплектации. Открытое нагрузки и 4-х сторонняя вариантов кластера доступны.

"Высокая яркость светодиодов (HBLEDs) в настоящее время неотъемлемой частью нашей жизни, обеспечение освещения решений для растущего числа приложений, от телевизоров с задней подсветкой для общего освещения", комментирует Марк Вослу, Oxford Instruments плазменных технологий Директор по продажам ", промышленности обоснованно требует высокая пропускная способность, качество устройства и низкой стоимости владения, и NGP1000 предлагает все эти решения.

Oxford Instruments плазменных технологий является мировым ведущим поставщиком высококачественных инструментов партия объема плазмы в производстве рынке уже более 15 лет, с широкой установленной базой HBLED производственных систем. Как отрасль продолжает развиваться, у нас есть технологии и опыт, чтобы предложить самые современные решения для наших клиентов ".

PlasmaPro NGP1000 PECVD система предназначена для нанесения SiO2 и SiNx слоев, и включает в себя большие площади электродов и оптимизировано душа конструкции, что позволяет до 61 х 2 ", 15 х 4" или 7 х 6 "пластин в одном нагрузки. PlasmaPro NGP1000 травления система, предназначенная для GaN, AlGaInP и Sapphire травления, предлагает пакет размером до 55 х 2 ", 13 х 4" или 5 х 6 ", уступая лидирующей на рынке объемы пластин / месяц.

Отличная равномерность на больших площадях обеспечивается вновь введенных 60 МГц Viper ™ источник плазмы. Этот инновационный источник достигает сопоставимой плотности плазмы в МСП источников, сохраняя преимущества высокой травления ставки и низкие повреждения.

Это последнее развитие системы усиливает целью Oxford Instruments ", чтобы стать ведущим поставщиком новых инструментов поколения и системы для промышленного и научно-исследовательских рынков, основанный на нашей способности анализировать и манипулировать материей на самых малых масштабах. Компания использует инновации в свою очередь, умные науки в продукты мирового класса, которые поддерживают научные исследования и промышленность для решения больших проблем 21-го века.

Last Update: 21. October 2011 15:11

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit