牛津仪器等离子技术生成下一代 HBLED 分批生产工具

Published on October 18, 2010 at 7:16 PM

牛津仪器等离子技术为 HBLED 制造商提供未清福利,以等离子铭刻和证言工具的 PlasmaPro™ NGP®1000 HBLED 范围的生成。 与行业主导的批量的空前的处理量从 61 x 2" 薄酥饼? 7 x 6" 薄酥饼,加上优质设备性能和产量,意味着牛津仪器能提供客户以一例外 HBLED 生产提供。

NGP1000 范围被设计提高处理量,最大化正常运行和通过可靠的硬件减少所有权的服务费用和方便。? NGP1000 平台为分批生产被优选了,与真空负荷锁定作为标准。 开张负荷,并且 4 支持的字符串选项是可用的。

“高亮度 LEDs (HBLEDs) 是现在组成部分我们生活,提供照明设备解决方法增加应用,从由后面照电视对一般照明设备”,备注标记 Vosloo,牛津仪器等离子技术经销总理, “行业情有可原地需求高处理量,设备质量和低价所有权和 NGP1000 提供所有这些解决方法。

牛津仪器等离子技术是大容积批等离子工具的世界领先的供应商在生产市场上 15 年,与 HBLED 生产系统一个宽产品安装信息库。 当这个行业继续演变,我们有这个技术和专门技术提供最最新的解决方法为我们的客户”。

PlasmaPro NGP1000 PECVD 系统为 SiO2 和 SiNx 层的证言设计,并且合并一个大区电极和优化淋浴喷头设计,允许 61 x 2", 15 x 4" 或 7 x 6" 在唯一负荷的薄酥饼。 PlasmaPro NGP1000 铭刻系统,设计为 GaN、 AlGaInP 和青玉铭刻,聘用批量至 55 x 2", 13 x 4" 或 5 x 6",产生市场薄酥饼/月的主导的数量。

最近被引入的 60MHz Viper™等离子来源提供在大区的非常好的均一。 此创新来源达到可比较的等离子密度对 ICP 来源,维护高铭刻费率和低的损害的福利。

此最新的系统开发加强牛津仪器’打算是新一代工具和系统主导的提供者行业的并且根据我们的能力分析和操作问题研究市场,在最小的规模。 这家公司使用创新把聪明的科学变成支持研究和行业解决 21 世纪的巨大挑战的国际水平的产品。

Last Update: 12. January 2012 19:58

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