חוקרים imec המעבדה של הקשורים ב גנט האוניברסיטה המציאו דרך חדשנית לפברק חיישנים גזירה לשימוש על משטחים גמישים, כמו עור אנושי או רובוטי. החיישנים החדשים מבוססים על טכנולוגיה אופטית מוטבע מצעים גמישים דקים.
גזירה גזירה חיישנים למדידת לחץ, מתח כלומר מוחל במקביל פני השטח של החומר, בניגוד להדגיש כי מוחל בניצב. חיישנים גזירה רוב מבוססים על מיקרו מערכות אלקטרומכניות (MEMS), והם מפוברק על מצעים קשיחים סי. חיישנים אלה יכולים להיות צפיפות רגישות גבוהה, אבל הם עבה למדי, חוסר גמישות. יתר על כן, פעילותם מתבססת על מדידות חשמל, ולכן הם רגישים הפרעות אלקטרומגנטיות.
סכימה של מחסנית חיישן, עם שכבת סיליקון מעוות דרך הלחץ גזירה.
יש ביקוש משמעותי עבור חיישנים שיכולים למדוד מדגיש גזירה בחשאי. אלה יצטרכו להיות קומפקטית וגמישה, ולכן הם יכולים לשמש על חלקי גוף נע סביב משטחים מעוגלים. הביקוש מגיע בעיקר מן הקהילה הרפואית, אשר ישתמשו חיישנים גזירה, למשל, למדידת חיכוך בין העור פרוטזה ועל הגדם. אבל הם יכולים לשמש גם בתחומים יישום אחר. ברובוטיקה, למשל, חיישנים גזירה גמיש יכול לעזור ליצור עור מלאכותי רגיש.
החוקרים Imec דיווחו לאחרונה על דרך לפברק כזה גזירה חיישנים גמישים באמצעות טכנולוגיה אופטית. חיישנים אופטיים יש רגישות גבוהה, טווח דינמי גדול, אינם רגישים לרעש הפרעות אלקטרומגנטיות. יתר על כן הם יכולים להיות מוטבע מצעים גמישים, מה שהופך אותם פוטנציאל קומפקטי מאוד, חזקים וגמישים.
החיישנים החדשנית מיוצרים בתהליך המאפשר שיבוץ רכיבים אופטיים לתוך מצעים דק מאוד וגמיש (עד 50μm). אחת חיישן כזה הוא ערימה המורכב מקור אנכי חלל משטח-emitting לייזר (VCSEL) ו photodiode מופרדות בשכבת deformable שקוף עשוי סיליקון. בתוך הערימה, VCSEL ו photodiode פנים זה לזה מיושרים כך photodiode לוכדת אור לייזר ביותר כאשר אין מתח גזירה ליישם מחסנית. כאשר הלחץ גזירה מוחל, הלייזר ואת photodiode לנוע ביחס זה לזה. השינוי נתפס על ידי אור לייזר photodiode הוא מידה כנגד הלחץ גזירה.
החיישנים אב טיפוס נעשו באמצעות שכבה של חומר סיליקון Sylgard 184. דפורמציה של חומר סיליקון הראו תגובה ליניארי ללחץ להחיל גזירה. בשלב הבא, החוקרים עובדים על מנת להתאים את העיצוב החיישן, כך שניתן גם להצביע על הכיוון של הלחץ גזירה.