Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Карл Zeiss и Synopsys Сотрудничают на Метрологии Зарегистрирования В-Плашки для Изготавливания Photomask

Published on October 28, 2010 at 7:06 PM

Карл Zeiss SMS ГмбХ, ведущий поставщик для инструментов метрологии и ремонта photomask и Synopsys, Inc. (NASDAQ: SNPS), мировой лидер в ПО и IP для конструкции полупроводника, проверки и изготавливания, сегодня объявили сотрудничество для того чтобы поддержать семейство инструмента ZEISS для разрешений метрологии в-плашки для узла технологии (nm) 32 нанометров и ниже.

Synopsys предложит поддержку для ZEISS' PROVE™, инструмента метрологии зарегистрирования следующего поколени, через Synopsys' CATS™, технологи-ведущее разрешение подготовки данным по маски. Используя КОТЫ как двигатель подготовки данных, инженеры маски используя PROVE могут извлекали пользу улучшенные эффективность и практичность системы метрологии зарегистрирования которая соотвествует строгие точности верхнего слоя.

Подготовка данным по Маски КОТАМИ более добавочно усилит эффективность PROVE.

Сильная оптически коррекция близости и двойные делая по образцу методы, необходимы, что расширили литографирование 193 nm к следующим узлам технологии, требуют большой точности размещения картины photomask. Новые ДОКАЗЫВАЮТ что система соотвествует эти увеличенные с своей принципиальной схемой groundbreaking 193 оптик освещения nm. Она поставляет возможность метрологии в-плашки для измерения самых малых характеристик продукции без устанавливать метки зарегистрирования, позволяющ создателя маски измерить и проанализировать зарегистрирование в критических зонах на маске.

Новый модуль КОТОВ, в настоящее время в лимитированном наличии клиента и вообще - доступно в марте 2011, включает быструю, эффективную и польностью автоматизированную подачу для настроения работ метрологии photomask. Используя форматы OASIS.MASK и XML индустриального стандарта открытые, предварительные возможности маркировки и метод корреляции ДОКАЗЫВАТЬ плоский (2D), КОТЫ предлагают значительно повышение к обычным схемам анализа изображения. Новаторский метод сравнивает 2D зажимы конструкции маски обеспеченной КОТАМИ с изображениями на маске захваченной PROVE, приводящ к в более высокой точности измерения сравненной к стандартным методам используя измерения 1D основанные на краях только.

«С опытом Synopsys' долгосрочным в подготовке данным по маски и Карл Zeiss' ноу-хау в метрологии в-плашки, новый модуль КОТОВ с своими exciting возможностями значительно поможет уменьшить ошибки зарегистрирования маски на произвольных характеристиках продукции,» сказал Др. Dirk Beyer, менеджер по продукции для PROVE на Карл Zeiss SMS ГмбХ.

Ошибки Зарегистрирования можно теперь квантифицировать для каждой маски без ограничений разрешения, дающ изготовлениям маски вполне новый инструмент для уменьшения ошибок размещения в двойном верхнем слое делать по образцу и маск-к-маски.

Сотрудничество «Synopsys' с Карл Zeiss приводит наше принятие окончательного решения в пример к предлагать всестороннее литографирование, осмотр и разрешения метрологии к изготавливанию маски выходят», сказали Fabio Angelillis, недостаток - президент инженерства для Кремний вышед на рынок на рынок Synopsys' Проектируя Группу. «Путем удлинять КОТОВ к поддержке ДОКАЖИТЕ, мы поставляем более высокомарочные разрешения метрологии к нашим клиентам на узле технологии 32 нанометров и ниже,» он добавил.

Last Update: 11. January 2012 20:53

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit