Carl Zeiss och Synopsys Samarbetar på I-Matrisen RegistreringsMetrology för den Fabriks- Photomasken

Published on October 28, 2010 at 7:06 PM

Carl GmbH Zeiss SMS, en ledande leverantör för photomaskmetrology och reparerar bearbetar och Synopsys, Inc. (Nasdaq: SNPS), en världsledare i programvara och IP för halvledaredesign, verifikation och fabriks-, meddelade i dag att ett samarbete som stöttar ZEISSEN bearbetar familjen för i-matrisen metrologylösningar för den 32 nanometer (nm) teknologiknutpunkten och nedanfört.

Synopsys ska erbjudandeservice för ZEISS' PROVE™, nästa generationregistreringsmetrologyen bearbetar, till och med Synopsys' CATS™, detledande maskerar lösningen för dataförberedelsen. Maskera iscensätter genom att använda PROVE kan gynna från förbättrad effektivitet, och användbarhet av ett registreringsmetrologysystem, som möter strängt, överdrar exakthetskrav, genom Att Använda KATTER som motorn för dataförberedelsen.

Maskera dataförberedelsen vid KATTER som vidare ska, förstärker effektiviteten av PROVE.

Den Starka optisk närhetkorrigeringen och dubblett som mönstrar tekniker som krävs för att fördjupa lithography för 193 nm till de nästa teknologiknutpunkterna, mer stor photomask för begäran, mönstrar placeringsexakthet. De nya BEVISAR att systemet möter dessa ökande begärningar med dess spadtagbegrepp av 193 nm-belysningoptik. Det levererar enmatris metrologykapacitet för mätning av de minsta produktionsärdragen, utan att förlägga registrering, markerar och att möjliggöra maskera tillverkare för att mäta och analysera registrering i kritiska områden på maskera.

Den nya KATTenheten, för närvarande i inskränkt kundtillgänglighet och allmänt - tillgängligt i Mars 2011, möjliggör effektiv och fullständigt automatiserad flöde ett fasta, för ställa in av photomaskmetrologyjobb. Genom Att Använda det standarda öppet för bransch formaterar OASIS.MASK, och XML, avancerade markera kapaciteter och den tvådimensionella (2D) korrelationmetoden för BEVISA, KATTerbjudanden en viktig förbättring till konventionellt avbildar analysintriger. Den innovativa metoden jämför den 2D designen fäster ihop av maskera förutsatt att av KATTER med avbildar på maskera som fångas av PROVE som resulterar i högre mätningsexakthet som jämförs till standarda metoder som använder mätningar som 1D baseras på, kantar endast.

”Med långsiktiga Synopsys' erfara maskerar in dataförberedelsen, och Carl Zeiss' veta-hur i i-matris metrology, maskerar de nya KATTERNA som enheten med dess spännande kapaciteter som markant ska hjälper att förminska, registreringsfel på godtyckliga produktionsärdrag,”, sade Dr. Dirk Beyer, produktchefen för PROVE på Carl GmbH Zeiss SMS.

Registreringsfel kan nu kvantifieras för varje maskerar med inga upplösningsbegränsningar och att ge sig maskera producenter som ett fullständigt nytt bearbetar för förminskande placeringsfel i dubblett som mönstrar, och maskera-till-maskera överdrar.

”Exemplifierar Synopsys' samarbete med Carl Zeiss vår förpliktelse till att erbjuda omfattande lithography, kontroll, och metrologylösningar till den fabriks- maskera marknadsför”, sade Fabio Angelillis, vicepresident av att iscensätta för Synopsys' Silikoner som Iscensätter Gruppen. ”, Genom att fördjupa KATTER till service, BEVISA, levererar vi higher - kvalitets- metrologylösningar till våra kunder på den 32 nanometer teknologiknutpunkten och nedanfört,” tillfogade han.

Last Update: 26. January 2012 17:12

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit