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卡尔蔡司和 Synopsys 在制片人光掩膜制造的注册计量学合作

Published on October 28, 2010 at 7:06 PM

卡尔光掩膜计量学和维修服务工具的 Gmbh 的蔡司 SMS,主导的供应商和 Synopsys, Inc. (那斯达克: SNPS),在软件的一个半导体设计、核实和制造的世界领导人和 IP,今天宣布协作支持制片人以下计量学解决方法的蔡司工具系列 32 毫微米技术节点的。

Synopsys 将提供技术支持蔡司’ PROVE™,下一代注册计量学工具,通过 Synopsys’ CATS™,主导技术的屏蔽数据准备解决方法。 使用猫作为数据准备引擎,使用 PROVE 的屏蔽工程师能受益于符合严密重叠准确性要求注册计量学系统的被改进的效率和可用性。

屏蔽由猫的数据准备进一步将加强 PROVE 效率。

严格的光学接近度更正和双仿造的技术,要求对下个技术节点扩大 193 nm 石版印刷,需求更加巨大的光掩膜模式位置准确性。 新证明系统适应与其 193 nm 照明光学的开创性概念的这些增长的需要。 它在临界面积提供最小的生产功能的评定的一个制片人计量学功能,无需安置对准标记,使屏蔽制造商评定和分析注册在屏蔽。

新的猫模块,当前在有限客户可用性和通常可用在 2011年 3月,启用光掩膜计量学工作设置的快速,高效和充分地自动化的流。 使用工业标准开放格式 OASIS.MASK 和 XML,先进的标号功能和证明二维 (第 2 个) 对比法,猫为常规图象分析模式提供一种重大的改进。 创新方法猫提供的屏蔽的第 2 个设计夹子与图象比较在 PROVE 获取的屏蔽,造成更高的评定准确性与标准方法比较使用 1D 在仅边缘基础上的评定。

“与在屏蔽数据准备和卡尔蔡司’技术的 Synopsys’长期经验在制片人计量学方面,新的猫模块以其扣人心弦的功能将极大帮助减少屏蔽在任意生产功能的注册错误”,产品管理器说博士德克 Beyer, PROVE 的在卡尔 Gmbh 的蔡司 SMS。

注册错误可能为每屏蔽现在被定量没有解决方法限制,产生屏蔽制造商为减少位置错误的一个全新的工具在双仿造和屏蔽对屏蔽重叠。

“与卡尔蔡司的 Synopsys’协作举例证明我们的承诺对提供全面石版印刷,检验,并且对屏蔽制造的计量学解决方法销售”,说法比奥 Angelillis, Synopsys 的’硅设计组的工程的副总统。 “通过延伸猫对技术支持请证明,我们提供更加优质的计量学解决方法到我们的客户在 32 毫微米技术节点以下”,他补充说。

Last Update: 11. January 2012 19:26

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