Le Fournisseur de Capteur d'Images de MEMS Passe la Commande de l'Outil Supplémentaire de Batterie de Tegal 3200

Published on November 8, 2010 at 7:19 AM

Tegal Corporation, (Nasdaq : TGAL) un innovateur des solutions spécialisées de production pour la fabrication de MEMS, l'alimentation électrique IC et les dispositifs optoélectroniques avancé, a aujourd'hui annoncé qu'il a reçu une commande pour un module supplémentaire de procédé d'outil de batterie de Tegal 3200 SE™ DRIE d'un principal fournisseur des capteurs d'images de MEMS.

Le module de procédé de l'EXPERT EN LOGICIEL DRIE de Tegal 3200 sera expédié et installé au site d'abonnée dans CY2011 précoce, et supportera les régimes de l'abonnée pour la capacité de production ramping rapidement pour la Fabrication À Fort Débit des capteurs d'images de MEMS.

« Nous croyons que nos modules de procédé de DRIE sont les plus fiables et les plus avancés sur le marché et, car cette commande de répétition affiche, nous ont pu répondre aux exigences techniques exigeantes de notre abonnée pour des outils de batterie du silicium DRIE, tout en fournissant l'excellente valeur le long de la route. » La commande de module de procédé du silicium DRIE d'outil de batterie d'EXPERT EN LOGICIEL de Tegal 3200 de cette abonnée de Tegal DRIE de répétition suit l'installation réussie, la qualification de processus, et l'utilisation supportée des procédés Réactifs Profonds Gravure À L'eau Forte d'Ion de silicium sur le premier outil P.M. de batterie d'EXPERT EN LOGICIEL de Tegal 3200 de l'abonnée.

« Notre abonnée est connue pour leur commandement technologique sur le marché de capteur d'images de MEMS, et nous voyons cette commande de répétition comme confirmation des performances supérieures de l'outil du silicium DRIE de Tegal à la fabrication à fort débit pour cette application techniquement provocante, » a dit JIM Apffel, Chef de Produit de DRIE à Tegal Corporation. « Nous croyons que nos modules de procédé de DRIE sont les plus fiables et les plus avancés sur le marché et, car cette commande de répétition affiche, nous ont pu répondre aux exigences techniques exigeantes de notre abonnée pour des outils de batterie du silicium DRIE, tout en fournissant l'excellente valeur le long de la route. »

Le Tegal 3200 SE™ est un système avancé et parmi les meilleurs du monde d'outil de batterie consacré aux applications Réactives Profondes Gravure À L'eau Forte d'Ion. Comportant un réacteur inductivement accouplé gravure à l'eau forte de plasma et un confinement magnétique de plasma, l'outil peut faire fonctionner le DIÈSE breveté de Tegal - Procédé Élevé Superbe de Rapport Hauteur/largeur, Réalisant des rapports hauteur/largeur corrodés de caractéristique technique de >100 : 1 dans des environnements de production. L'outil de batterie de Tegal 3200 peut être configuré avec jusqu'à 4 modules de processus, supportant des applications À Fort Débit de Fabrication pour le plus souvent les matériaux utilisés dans MEMS, 3D-IC, et fabrication de dispositif de semi-conducteur : Silicium (Si), Silicium Sur l'Isolant (SOI), et Silice (SiO2)

Des outils du silicium DRIE de Tegal sont actuellement utilisés dans de nombreux laboratoires de recherche et développement dans le monde entier, s'engageant dans des programmes de message publicitaire et de recherche universitaire, et sont également trouvés dans des fonderies de MEMS et d'autres lignes À Fort Débit commerciales dédiées de Fabrication mondiales.

Source : http://www.tegal.com/

Last Update: 12. January 2012 20:02

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