MEMS 圖像傳感器供應商發出訂單另外的 Tegal 3200 字符串工具

Published on November 8, 2010 at 7:19 AM

Tegal Corporation, (那斯達克:TGAL) 專門化的生產解決方法的創新者生產的先進的 MEMS、功率集成電路和光電子設備,今天宣佈它從 MEMS 圖像傳感器的一個主導的供應商收到了一個另外的 Tegal 3200 SE™ DRIE 字符串工具進程模塊的一份訂單。

Tegal 3200 SE DRIE 進程模塊在客戶地點將被發運并且被安裝在早 CY2011 和支持迅速 ramping 生產能力的客戶的計劃 MEMS 圖像傳感器大容積製造的。

「我們相信我們的 DRIE 進程模塊是最可靠和最先進的在這個市場上,因為此重複順序顯示,我們能符合我們的硅 DRIE 字符串工具的客戶的需求的技術需要,當提供非常好的值時」。 從此重複 Tegal DRIE 客戶的 Tegal 3200 SE 字符串工具硅 DRIE 進程模塊等級按照對在客戶的第一個 Tegal 3200 SE 字符串工具 PM 的硅深刻的易反應的離子銘刻進程的成功的安裝、處理鑒定和持續的使用。

「我們的客戶為他們的技術領導在 MEMS 圖像傳感器市場上被認識,并且我們看到此重複順序, Tegal 硅 DRIE 工具的優越性能的確認在大容積製造中此技術上富挑戰性的應用的」,吉姆 Apffel 說, DRIE Tegal 的 Corporation 產品管理器。 「我們相信我們的 DRIE 進程模塊是最可靠和最先進的在這個市場上,因為此重複順序顯示,我們能符合我們的硅 DRIE 字符串工具的客戶的需求的技術需要,當提供非常好的值時」。

Tegal 3200 个 SE™是一個先進,國際水平的字符串工具系統投入深刻的易反應的離子銘刻應用。 以引人地耦合的等離子銘刻反應器和磁性等離子分娩為特色,工具可能運行 Tegal 的給予專利的銳利 - 超級高長寬比進程,達到 >100 被銘刻的功能長寬比:1 在生產環境裡。 Tegal 3200 字符串工具可以配置以 4 個處理模塊,支持大容積製造應用為在 MEMS 的頻繁地使用的材料, 3D 集成電路和半導體設備製造: 硅 (Si)、绝緣體上硅薄膜 (SOI)和二氧化硅 (SiO2)

Tegal 硅 DRIE 工具在許多研究與開發實驗室在 MEMS 的鑄造廠和全世界其他專用的商業大容積製造的線路在世界各地目前被使用,參與商業和學術研究方案和也被找到。

來源: http://www.tegal.com/

Last Update: 26. January 2012 09:40

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