AIXTRON는 DTU Danchip와 DTU 나노기술에서 마술 PECVD 시스템에 대한 새로운 주문을 받는다

Published on November 9, 2010 at 4:28 AM

AIXTRON AG는 오늘 Lyngby, 덴마크 덴마크 기술 대학에서 DTU Danchip와 DTU 나노기술에서 마술 플라즈마 강화 CVD (PECVD) 시스템을위한 새로운 질서를 발표했다.

기관은 2010 년 2 분기 동안 4 인치 구성 증착 시스템에 대한 순서를 배치. 현재 분기에 배달 다음, 그것은 같은 셀 마이크로 칩 인터페이스, 실험실 - 온 - 칩 필터 및 기타 microfluidic 부품, 트랜스 듀서 및 전극과 같은 다양한 애플 리케이션의 여러 graphene와 탄소 나노튜브의 성장을 위해 사용됩니다. 물리, 화학, 실험실 - 온 - 칩 및 생명 과학 과목을 다루는 여러 연구 그룹은 새로운 시스템을 사용합니다.

DTU 나노기술 코멘트에서 조교수 피터 Bøggild, "우리는 graphene와 탄소 나노튜브를위한 턴키 솔루션을 원했습니다. 우리의 평가에서 블랙 매직 시스템은 실제로 매우 성숙하고 재현할 방법으로 이러한 탄소 nanomaterials의 대규모 균질 생산 가능했습니다. 우리의 주요 목표 중 하나는 실용적인 응용 프로그램에 대한 연구되기 때문에, 소재의 품질뿐만 아니라 재현성, 안정성 및 확장성이 필수입니다. 신뢰할 수있는 연구자와 개인적인 경험의 추천을 바탕으로, 우리는 AIXTRON 시스템이 우리의 높은 기대에 살 것이라고 믿어 의심치 않습니다. 사실, 우리는 블랙 매직 시스템을 사용할 준비가 사용자의 긴 라인을했습니다. "

베드로 Bøggild 그의 박사 학위를 받았다 1998 년 코펜하겐 대학에서 학위 및 DTU에서 Nanointegration 연구 그룹의 머리입니다. 그는 나노 핀셋 및 액츄에이터에 그의 선구적인 작업에 대한 권위있는 덴마크어 수상 'AEG Elektronprisen 2009'접수하고, 여러 해 동안 탄소 nanomaterial들과 협력하고 있습니다.

Danchip의 청정실은의 광범위한 선택을 포함 최첨단의 전문적인 유지 리소그래피 공정 장비, 에칭, 열 처리, 박막 증착, 포장 및 특성. 시설에 접근하거나 내에 마이크로 및 나노 장치의 제조 서비스를 필요로 교육 기관, 중소 기업의 * 및 대기업 구성된 다양한 고객 및 파트너에 의해 사용됩니다. 블랙 매직 시스템은 탄​​소 nanomaterials의 실용적인 응용 프로그램에 선봉 연구 기존 제조 기술과 탄소 나노튜브 graphene의 통합을 가능하게합니다.

DTU Danchip은 국가 덴마크의 마이크로 및 Nanofabrication 센터와 덴마크 기술 대학의 한 부분이며, 최근 성공적으로 노르웨이 베리타스하여 인증 감사를 완료하는 데 후 DS / EN ISO 9001:2008 표준 후 인증되었습니다.

Last Update: 7. October 2011 19:00

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