SUSS MicroTec, (FWB: SMH) (GER: SMH) un surtidor global de las soluciones del equipo y del proceso para la industria del semiconductor y los mercados relacionados, y Fraunhofer para los IST de la Ingeniería Superficial y de las Películas Finas anunciaron hoy el lanzamiento SELECT, una tecnología para el alineador en enlace y el alineador de la máscara que activa selectivamente partes de superficies del fulminante a través de plasma. El tratamiento Local de la superficie antes del tramitación del fulminante reemplaza pasos de progresión de proceso estándar y reduce el costo total por el fulminante.
La activación Selectiva del plasma se puede aplicar a una variedad de MEMS, de aplicaciones ópticas y solares usando la vinculación del fulminante o modificación directa de la superficie para la creación de las matrices micras del espejo, de válvulas micras, de sensores o de canales hidráulicos micros. La caja de herramientas SELECTA es una opción de mejora de MA/BA8 Gen3 de SUSS MicroTec.
La tecnología pendiente de la patente de las bases de los IST de Fraunhofer sobre el plasma de la presión atmosférica que modifica selectivamente la superficie nivelada molecular. El tratamiento superficial Convencional de fulminantes completos sin la selección puede dañar las funciones de componentes o de la electrónica micros. Con el tratamiento selectivo es posible proteger esas áreas delicadas activando solamente las partes específicas del fulminante. La activación Selectiva del plasma se utiliza con los fulminantes planares así como con los fulminantes de la topografía donde la activación del plasma se proporciona en las cavidades o en las estructuras elevadas.
“Mientras Que el tratamiento selectivo del plasma en aplicaciones de la vinculación del fulminante reduce importante el poste-bono destemple la temperatura de 1000°C hacia abajo a 200°C, él también protege los dispositivos sensibles. La tecnología por lo tanto aumenta impresionante la ventana de proceso para la vinculación directa”, dijo al Profesor el Dr. Günter Bräuer, el director de los IST de Fraunhofer. “Con la caja de herramientas SELECTA de SUSS MicroTec aplicada en ambos dirija la vinculación así como el otro fulminante que tramita aplicaciones una nueva aproximación innovadora parece posible para el dispositivo que tramita en la industria del semiconductor.”
“El tratamiento de partes seleccionadas de fulminantes reduce los costos de producir un dispositivo con aerodinamizar la producción de los procesos y del aumento al mismo tiempo”, Frank explicado Averdung, Presidente y Director General MicroTec AG de SUSS. “La nueva tecnología tiene el potencial de cambiar totalmente el modelo de la costo-de-propiedad para una gran variedad de aplicaciones. Esto crea una oportunidad interesante para los clientes de nuestra última generación manual del alineador de la máscara.”
Fuente: http://www.suss.com/