FLAIREZ MicroTec, (FWB : SMH) (GER : SMH) un fournisseur global des solutions de matériel et de procédé pour l'entreprise de semiconducteurs et les marchés relatifs, et Fraunhofer pour IST Extérieurs de Bureau D'études et de Films Minces ont aujourd'hui annoncé le lancement SELECT, une technologie pour le dispositif d'alignement en esclavage et le dispositif d'alignement de masque qui lance sélecteur des parties de surfaces de disque par le plasma. La demande de règlement Locale de la surface avant de traiter de disque remonte des phases de processus normales et réduit le coût général selon le disque.
Le lancement Sélecteur de plasma peut être appliqué à un grand choix de MEMS, d'applications optiques et solaires utilisant la métallisation de disque ou la modification directe de surface pour la création des alignements micro de miroir, de soupapes micro, de senseurs ou de tunnels hydrauliques micro. Le kit d'utilitaires CHOISI est une option de mise à jour de MA/BA8 Gen3 SUSS MicroTec.
La technologie de brevet en instance des bases d'IST de Fraunhofer sur le plasma de pression atmosphérique modifiant sélecteur la surface de niveau moléculaire. La préparation de surface Conventionnelle des disques complets sans sélection peut endommager la fonctionnalité des composants ou de l'électronique micro. Avec la demande de règlement sélectrice il est possible de protéger ces zones sensibles en lançant seulement les parties particulières du disque. Le lancement Sélecteur de plasma est utilisé avec les disques planaires ainsi qu'avec des disques de topographie où le lancement de plasma est fourni dans les cavités ou sur les structures élevées.
« Tandis Que la demande de règlement sélectrice de plasma dans des applications de métallisation de disque réduit de manière significative la poteau-obligation recuisez la température de 1000°C vers le bas à 200°C, il protège également les dispositifs sensibles. La technologie pour cette raison augmente impressionnant l'hublot de processus pour la métallisation directe », a dit le Prof. M. Günter Bräuer, directeur d'IST de Fraunhofer. « Avec FLAIREZ le kit d'utilitaires CHOISI de MicroTec appliqué dans les les deux dirige la métallisation ainsi que l'autre disque traitant des applications un élan neuf d'inauguration semble possible au dispositif traitant dans l'entreprise de semiconducteurs. »
« La demande de règlement des parties sélectées de disques réduit les coûts de produire un dispositif en profilant le débit de procédés et d'augmentation en même temps », Frank Averdung, Président et Directeur Général expliqué de MicroTec AG SUSS. « La technologie neuve a le potentiel de changer complet le modèle de coût de possession pour une grande variété d'applications. Ceci produit une opportunité intéressante pour les abonnées de notre dernier rétablissement manuel de dispositif d'alignement de masque. »
Source : http://www.suss.com/