SUSS MicroTec, (FWB: SMH) (जीईआर: SMH) उपकरण और अर्धचालक उद्योग से संबंधित बाजारों के लिए प्रक्रिया समाधान की एक वैश्विक आपूर्तिकर्ता, और भूतल इंजीनियरिंग और पतला फिल्म्स के लिए Fraunhofer IST, आज का चयन करें के शुभारंभ की घोषणा की, बांड aligner के लिए एक तकनीक और मुखौटा aligner है कि चुनिंदा प्लाज्मा के माध्यम से वफ़र सतहों के कुछ हिस्सों को सक्रिय. सतह के स्थानीय वफ़र प्रसंस्करण से पहले उपचार मानक कदम प्रक्रिया की जगह और वफ़र प्रति समग्र लागत कम कर देता है.
चयनात्मक प्लाज्मा सक्रियण MEMS के एक किस्म, ऑप्टिकल और सौर प्रत्यक्ष संबंध मे या माइक्रो दर्पण arrays, सूक्ष्म वाल्व, सेंसर या सूक्ष्म fluidic चैनलों के निर्माण के लिए सतह संशोधन अनुप्रयोगों का उपयोग करने के लिए लागू किया जा सकता है. का चयन करें टूलकिट MA/BA8 SUSS MicroTec है Gen3 के एक उन्नत विकल्प है.
वायुमंडलीय दबाव प्लाज्मा पर Fraunhofer IST अड्डों के पेटेंट लंबित प्रौद्योगिकी चुनिंदा आणविक स्तर की सतह को संशोधित. चयन के बिना पूरा वेफर्स के परम्परागत सतह के उपचार सूक्ष्म घटकों या इलेक्ट्रॉनिक्स की कार्यक्षमता को नुकसान पहुंचा सकता है. चयनात्मक उपचार के साथ यह संभव है वफ़र के केवल विशिष्ट भागों को सक्रिय करके उन संवेदनशील क्षेत्रों की रक्षा के लिए. चयनात्मक प्लाज्मा सक्रियण planar वेफर्स के साथ के रूप में अच्छी तरह के रूप में जहां प्लाज्मा सक्रियण या तो cavities में या ऊंचा ढांचे पर प्रदान की जाती है स्थलाकृति वेफर्स के साथ प्रयोग किया जाता है.
"हालांकि वफ़र संबंध अनुप्रयोगों में चयनात्मक प्लाज्मा उपचार काफी कम कर देता बांड के बाद 1000 से तापमान पानी रखना डिग्री सेल्सियस 200 से नीचे डिग्री सेल्सियस, यह भी संवेदनशील उपकरणों की रक्षा. , प्रो डॉ. Günter Brauer, Fraunhofer IST के निदेशक प्रौद्योगिकी इसलिए प्रभावशाली सीधा संबंध के लिए प्रक्रिया विंडो बढ़ जाती है "कहा. "SUSS है MicroTec का चयन करें के रूप में के रूप में अच्छी तरह से दोनों प्रत्यक्ष संबंध अन्य वफ़र प्रसंस्करण आवेदन में लागू टूलकिट के साथ एक जमीन तोड़ने अर्धचालक उद्योग में डिवाइस प्रसंस्करण के लिए नया दृष्टिकोण संभव लगता है."
फ्रैंक Averdung, राष्ट्रपति और SUSS MicroTec एजी के सीईओ "वेफर्स के चयनित भागों के उपचार प्रक्रियाओं को व्यवस्थित बनाने और एक ही समय में throughput बढ़ाने के माध्यम से एक डिवाइस के उत्पादन की लागत कम कर देता है," समझाया. "नई प्रौद्योगिकी के लिए पूरी तरह से आवेदनों की एक विशाल विविधता के लिए लागत के स्वामित्व मॉडल बदलने की क्षमता है. यह हमारे नवीनतम पुस्तिका मुखौटा aligner पीढ़ी के ग्राहकों के लिए एक दिलचस्प अवसर बनाता है. "
स्रोत: http://www.suss.com/