SUSS MicroTec, (FWB: SMH) (GER: SMH) глобальный поставщик оборудования и технологических решений для полупроводниковой промышленности и смежных рынков, и Фраунгофера инженерного поверхности и тонких пленок ИСТ объявила о запуске SELECT, технологии связи Aligner и маски Aligner, избирательно активирует части пластины поверхностей через плазму. Местное лечение поверхности перед обработкой пластин заменяет стандартные этапы технологического процесса и снижает общие затраты на пластины.
Селективная активация плазмы может быть применена к различным MEMS, оптические и солнечные приложений с использованием прямого сращивания пластин или модификации поверхности для создания микро-массивов зеркало, микро-клапаны, датчики или микро жидкостных каналов. ВЫБОР инструментарий обновления возможность MA/BA8 Gen3 SUSS MicroTec в.
Запатентованная технология Fraunhofer IST основы, на атмосферные давления плазмы выборочно изменения молекулярной поверхности уровня. Обычная обработка поверхности пластин полной без отбора могут повредить функциональности микрокомпонентов или электроники. При селективной очистки можно защитить тех чувствительных областях, активируя только определенные части пластины. Селективная активация плазма используется с плоской пластины, а также с топографией пластин, где плазма активации осуществляется либо в полостях или на повышенных структур.
"В то время селективной очистки плазмы в приложениях пластины связь значительно снижает пост-связь температуры отжига от 1000 ° C до 200 ° С, она также защищает чувствительные приборы. Поэтому технология впечатляюще увеличивает окно процесса для прямой связи ", сказал профессор доктор Гюнтер Брауэр, директор IST Фраунгофера. "С некоторыми инструментарий SUSS MicroTec, примененного при прямой связи, а также других приложений обработки пластин новаторской новый подход представляется возможным устройство для обработки в полупроводниковой промышленности."
"Обработка отдельных участков пластин уменьшает издержки производства устройств за счет оптимизации процессов и увеличения пропускной способности в то же время", пояснил Фрэнк Averdung, президент и главный исполнительный директор SUSS MicroTec AG. "Новая технология имеет потенциал, чтобы полностью изменить стоимости владения моделью для большого разнообразия приложений. Это создает интересные возможности для клиентов нашего последнего поколения ручной Aligner маска ".
Источник: http://www.suss.com/