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Posted in | Nanoanalysis

革命的なパテント保留中の機能は ContourGT の光学表面の型彫機が前例のない側面解像度を提供することを可能にします

Published on November 30, 2010 at 6:57 PM

Bruker Corporation (NASDAQ: BRKR) 光学回折限界を壊し、 (MRS)前に達成すること不可能考慮された側面解像度を提供するために AcuityXR™を、無接触選り抜き ContourGT™を可能にするために Bruker の一義的な、パテント保留中のハードウェアおよびソフトウェア技術結合する新しい光学表面の型彫機のモード 3D 光学表面の型彫機に会う材料の研究の社会の落下 2010 年に今日発表される。

半導体の、医学および精密機械化フィールドの多くの nanoscale のアプリケーションに今日光学回折限界による検出か識別を限定する次元の表面機能そして欠陥があります。 そのような極めて小さい機能および欠陥は頻繁に直接機能、パフォーマンスに影響を与えます、品質や製造業は同様にもたらし、大きい興味研究者および生産 QA/QC の人員にです。 Bruker の AcuityXR の新しいモードが装備されている光学表面の型彫機システムは光学顕微鏡検査で前例のなく、この技術なしでシステムより良いほぼ 3 倍幅で 130 ナノメーターの下で機能の解像度を示しました。 なお、 AcuityXR は無接触 Bruker の広い視野および高性能の利点を 3D 光学に表面に側面図を描くこと維持している間精密のこの新しいレベルを可能にします。 AcuityXR によって、狭い構造の次元の反復性は特別に良い機能を明らかにする機能に加えて技術に本当の度量衡学の利点を示す 5x の要因より多く改良するために示されていました。 AcuityXR は Bruker の ContourGT-K1、 X3 および X8 光学表面の型彫機で今使用できる任意選択機能です。

「AcuityXR ContourGT-K1 の高められた度量衡学のハードウェア技術と根本的に新しい測定のアルゴリズム、 X3 を結合し、一緒に今までに一度も光学顕微鏡検査で達成される側面解像度を提供する X8 システム」は Bruker のスタイラス及び光学度量衡学の単位の氏を言いましたロス Q. スミス、副大統領および総務部長。 「ContourGT システムで専ら使用できるこの驚くべき新しい機能品質のための必要性が絶えず」。は増加している間形状が憶病の半導体の、医学および精密機械化のアプリケーションの私達の現在および見込み客へ大きい利点です

、先生マーク R. Munch 追加される Bruker の Nano 表面ビジネスの大統領: 「ContourGT の製品グループの工業一流パフォーマンス、反復性および使い易さの機能に AcuityXR の造り。 この前例のない達成を持って来ることは販売するために偽りなく説明します私達の産業および R & D の顧客に高い値の nanosurface の度量衡学システムを提供するために Bruker の進行中の責任を」。

AcuityXR が装備されている ContourGT システムはボストンの Hynes のコンベンションセンター、 MA、 12 月 2. 日 Bruker による 11 月 30 日で催された夫人落下会議の Bruker の Nano 表面ブース (第 300) で行ないます AcuityXR のセミナーおよび火曜日、 Sheraton ボストンのホテルの 6:30 PM、第 3 床、標識 G. の 11 月 30 日の他の高度の光学表面の測定のモードを示されます。

2010 年の無接触の ContourGT の系列、 3D Bruker 特許を取られる光学表面の型彫機機能システムの優秀な縦解像度と結合された場合感度および安定性を非常に改善し、精密他の WLI ベースのシステムのために挑戦的である環境および困難なアプリケーションの無接触 3D 表面の度量衡学を可能にする高明るさの二重主導の照明に導入される。 ContourGT はまた新しい Bruker 開発されたパテント保留中の Vision64™の操作および分析ソフトウェアおよび最も直観的な企業度量衡学アプリケーションの側面図を描く表面の広い範囲にユーザーレベルカスタマイゼーションの機能を提供するモジュラーユーザー・インターフェースを特色にします。

Last Update: 11. January 2012 17:24

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