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ズースマイクロテックはRolithのナノリソグラフィー法とナノ構造化装置を開発する

Published on December 3, 2010 at 4:38 AM

ズースマイクロテック(FWB:SMH)(GER:SMH)、半導体業界および関連市場のための装置とプロセスソリューションのリーディングサプライヤは、今日はそれが発展するRolith、(株)との共同開発と独占的ライセンス契約を締結したことを発表とRolithによって開発された破壊的なナノリソグラフィーの手法を採用したナノ構造化装置を構築する。

基板材料の広い範囲でナノ構造化のためのハイスループットのコスト効果の高いテクニックの可用性は、再生可能エネルギーとグリーンビルディング市場への新たな可能性をもたらします。

Rolithの特許出願中のナノリソグラフィ技術は、円筒形のロールマスクを用いて近接場光リソグラフィーの独自の実装に基づいています。サブ波長の分解能は、位相シフト干渉効果やプラズモン増強の印刷構造によって実現されます。連続動作モードでは、高スループットと低コスト生産が可能になります。

"我々は、技術はそのような反射防止、アンチグレア、セルフクリーニングや防曇性質を持つ高効率3次元太陽電池、建材一体型PVを、スマートガラスと高品質のコーティングなどの高度な製品を、次世代のを可能にすると予想我々は彼らの世界クラスのデザインと優れた顧客サービスで知られているズースマイクロテックと提携し、最大に喜んでいる"、と博士ボリスコブリン、Rolith、IncのCEO /社長"。光リソグラフィシステムの経験の彼らの60年とズースマイクロテックは、市場にこれだけのために必要な技術を持ってRolithを支援するために必要な専門知識とネットワークを持っています。"

"ナノインプリントリソグラフィーシステムと私たちの最近の成果は私たちにMEMSとナノアプリケーションで基板を構造化するための一流の専門家を加えた"、フランクAverdung、社長兼CEO、ズースマイクロテックAGは述べています。 "Rolithによる新規光リソグラフィー技術は、基本的に現在の技術に比べてコスト構造を変更することにより、市場に大量のナノインプリント技術をもたらす可能性を秘めている私たちの柔軟な機器ソリューションとの組み合わせ。"

ソース: http://www.suss.com/

Last Update: 3. October 2011 23:19

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