Panasonic und imec vorhanden an den Internationalen Elektron-Einheiten, die in San Francisco sich Treffen, das ein innovativer dünner filmverpackter SOI-basierter MEMS Resonator SiGe (Silikongermanium), der einen Industriesatz Q-Faktor kennzeichnet, mit einer niedrigen Vorspannung kombinierte.
Der hohe Q-Faktor wurde erzielt, indem man einen Resonator, der in einem Dreh- Schwingungsmodus funktioniert, und, durch Vakuumeinschalung des Resonators in einem Dünnfilmpaket einführte. Dieser bahnbrechende Resonator ebnet die Methode in Richtung zur Miniaturisierung und zur Leistungsaufnahme der geringen Energie von den Startuhren, die in einer Vielzahl von Anwendungen wie Unterhaltungselektronik und Kfz-Elektronik verwendet werden.
MEMS-Resonatore bieten erhöhte Miniaturisierung über herkömmlichen Resonatoren wie Schwingquarzen und piezoelektrischer Keramik an. Jedoch leiden hochmoderne MEMS-Resonatore unter einem niedrigen Q-Faktor und einer hohen Vorspannung. Panasonic und imec entwickelten einen Roman verpackten MEMS-Resonator, der den höchsten Q-Faktor erzielt, der bis jetzt in der Industrie berichtet wurde (220.000 bei einer Eigenfrequenz f=20MHz (f·Q-Produkt von 4.3X1012Hz)) und niedrige Vorspannung durch die Kombination von verschiedenen hoch entwickelten MEMS-Technologien.
Die Anwendung eines Dreh- Schwingungsmodus aktiviert niedrige Ankerverluste und drückt niedriger die Filmdämpfung zusammen, die mit flexural Modusresonatoren, mit dem Ergebnis eines höheren Q-Faktors verglichen wird. Da der Q-Faktor auch vom Umgebungsdruck abhängt und beginnt, sich über einen kritischen Druck zu verringern, der zu zähflüssigem passend ist und den Dämpfung Film zusammendrückt, kapselten imec und Panasonic-Vakuum den Resonator in einer luftdicht verschlossenen Umgebung ein. Diese Dünnschichteinschalung des MEMS mit einem 4mm starken SiGe-Film wird mit einem monolithischen Fälschungsprozeß mit dem MEMS verwirklicht.
Der schmale Abstand 130nm zwischen dem Träger und den Antriebs- und Richtungselektroden aktiviert eine niedrige Vorspannung (1.8Vdc) und beseitigt folglich eine Ladepumpe in der Oszillatorschaltung. Außerdem unter Verwendung der Opferschicht setzt Radierung durch eine mikrokristalline Silikongermaniumschicht die Möglichkeiten der Absetzung der Dichtmasse innerhalb der Kammer herab und aktiviert folglich, die Radierungslöcher nach rechts über der Trägeroberfläche in Position zu bringen und führt zu eine kleinere Chip-Größe.
Der verpackte MEMS-Resonator wurde als Teil das CMORE-Services der imecs verwirklicht, der heterogene Integrationsdienstleistungen der Industrie anbietet. Imec-Gestalten auf seiner Sachkenntnis in vielen Forschungsbereichen, zum von CMOS-Prozessen mit dem neuen Prozess zu justieren und auszudehnen tritt, um Roman CMOS mikro- zu machen und nanodevices, hinzufügend arbeitet anders als Logik und Speicher zu den Chips. Mögliche Anwendungen solcher MEMS-Einheiten sind intelligente Fühler, Stellzylinder, Leistungsreiniger, Resonatore, Biochips, mikro-verpflanzbare Geräte oder Solarzellen. Imecs CMORE hält Reichweite von der Entwicklung-aufnachfrage, über Erstausführung, zur Kleinserie instand.
Am 7. Dezember 2010 Bekannt gegeben