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ISMI, Oxford-Instrumente Verbinden für das Beschichten von 450 mm-Siliziumscheiben mit Filmen PECVD SiO2

Published on January 6, 2011 at 3:45 AM

Gemeinsam mit ISMI haben die Technologie- und Anwendungsteams an der Oxford-Instrument-Plasma-Technologie 450mm Siliziumscheiben mit PECVD SiO2 - eine Weltneuheit beschichtet.

Die Wafers wurden unter Verwendung der vor kurzem gestarteten Anlage Oxford-Instrumente PlasmaPro® NGP®1000 PECVD aufbereitet, die zum Beschichten von einzelnen Wafersubstratflächen bis bis 450mm Durchmesser oder zu den größeren Stapel von Wafers mit kleinem Durchmesser fähig ist.

Mike Cooke, Leitender Technologie-Beamter an der Oxford-Instrument-Plasma-Technologie, wird extrem mit den Ergebnissen gefallen.  „Unsere Zusammenarbeit mit ISMI und Semilab gab uns Zugriff zu 450mm Wafers und die erste Gelegenheit, damit Partner und Maßnahmeschichten auf solchen Wafers abgeben,“ sagte er.  Die Wafers, die an Oxford-Instrumenten aufbereitet werden, werden im Prüfungs-Wafer-Generationsprogramm ISMIS verwendet, um die Entwicklung von 450mm Prozess und von Metrologiehilfsmitteln zu aktivieren. Die Einheitlichkeit der Dicke SiO2 wird erwartet, um ±3% zu erzielen, das auf den Maßen basiert, die von den Stapel von Wafers mit kleinem Durchmesser genommen werden.

ISMI baut aktuell die Infrastruktur für den Übergang zu 450 mm als Teil seines Effektenbestands von den Programmen auf, die dem Verbessern von Produktivität und der Verringerung von Kosten in den heutigen und morgigen fabs eingesetzt werden. Das ISMI 450 mm-Programm wird am Aktivieren eines kosteneffektiven Überganges durch Koordination und Entwicklung der Infrastruktur, der Lenkung und der Industriebereitschaft festgelegt.

Oxford-Instrumente wird auch in das Projekt EEMI 450mm, speziell in der Entwicklung von 450mm Ätzungshilfsmitteln miteinbezogen. Das Projekt unterstützt die Systemumstellung zur größeren Wafergröße und soll den Competiveness der Europäischen Industrie- und Forschungsinfrastruktur verstärken. Das Projekt wird vom ENIAC-Gemeinsamen Unternehmen und von der BRITISCHEN Technologie-Strategie-Behörde unterstützt.

Quelle: Unternehmen

Last Update: 11. January 2012 13:40

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