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ISMI, Instrumentos de Oxford Ensamblan para Recubrir las Obleas de Silicio de 450 milímetros con las Películas de PECVD SiO2

Published on January 6, 2011 at 3:45 AM

En colaboración con ISMI, las personas de la tecnología y de las aplicaciones en la Tecnología del Plasma de los Instrumentos de Oxford han recubierto las obleas de silicio de 450m m con PECVD SiO2 - un mundo primero.

Los fulminantes fueron tramitados usando el sistema recientemente puesto en marcha de PlasmaPro® NGP®1000 PECVD de los Instrumentos de Oxford, que es capaz de recubrir los únicos substratos del fulminante hasta el diámetro de 450m m o tratamientos por lotes más grandes de fulminantes más de diámetro bajo.

Mike Cooke, Principal Oficial de la Tecnología en la Tecnología del Plasma de los Instrumentos de Oxford, está satisfecho extremadamente con los resultados.  “Nuestra colaboración con ISMI y Semilab nos dio el acceso hasta los fulminantes de 450m m y la primera oportunidad para que los socios depositen y las capas de la dimensión en tales fulminantes,” él dijo.  Los fulminantes tramitados en los Instrumentos de Oxford serán utilizados en el programa de la Generación del Fulminante de la Prueba de ISMI para activar el revelado 450m m proceso y de herramientas de la metrología. Se prevee que la uniformidad del espesor del film SiO2 logre el ±3% basado en las mediciones tomadas de los tratamientos por lotes de fulminantes más de diámetro bajo.

ISMI está construyendo actualmente la infraestructura para la transición a 450 milímetros como parte de su cartera de los programas dedicados a mejorar productividad y a reducir costos en fabs de hoy y de mañana. El ISMI Programa de 450 milímetros está comprometido a activar una transición de poco costo con la coordinación y el revelado de la infraestructura, de la dirección, y de la disposición de la industria.

Los Instrumentos de Oxford también están implicados en el proyecto de EEMI 450m m, específicamente en el revelado de las herramientas del grabado de pistas de 450m m. El proyecto utiliza la migración a la talla más grande del fulminante y se piensa fortalecer el competiveness de la infraestructura Europea de la industria y de la investigación. El proyecto es utilizado por la Empresa Común de ENIAC y la Tarjeta BRITÁNICA de la Estrategia de la Tecnología.

Fuente: http://www.oxinst.com/

Last Update: 11. January 2012 13:57

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