ISMI, Oxford Instruments Participez à revêtement 450 plaquettes de silicium PECVD mm avec SiO2 Films

Published on January 6, 2011 at 3:45 AM

En collaboration avec ISMI, la technologie et des applications à des équipes d'Oxford Instruments technologie Plasma ont couché avec des plaquettes de silicium 450mm PECVD SiO2 - une première mondiale.

Les plaquettes ont été traitées à l'aide lancé récemment Oxford Instruments PlasmaPro ® NGP ® 1000 du système PECVD, qui est capable de revêtement de substrats seule plaquette jusqu'à 450mm de diamètre ou plus des lots de wafers de diamètre plus petit.

Mike Cooke, directeur de la technologie à Oxford Instruments technologie plasma, est extrêmement heureux des résultats. «Notre collaboration avec ISMI et Semilab nous a donné accès à des wafers 450mm et la première occasion pour les partenaires de dépôt et de mesurer les couches sur ces plaquettes", at-il dit. Les plaquettes traitées à Oxford Instruments seront utilisées dans le programme de test ISMI Wafer génération pour permettre le développement de processus de 450mm et outils de métrologie. L'uniformité de SiO2 épaisseur du film est prévue pour atteindre ± 3% sur la base des mesures prises à partir de lots de plaquettes de diamètre plus petit.

ISMI est actuellement la construction des infrastructures pour la transition à 450 mm dans le cadre de son portefeuille de programmes dédiés à l'amélioration de la productivité et en réduisant les coûts d'aujourd'hui et de demain fabs. Le Programme ISMI 450 mm s'engage à permettre une transition rentable grâce à la coordination et le développement de préparation de l'infrastructure, l'orientation et l'industrie.

Oxford Instruments est également impliqué dans le projet de Remi 450mm, plus précisément dans le développement des outils de 450mm etch. Le projet appuie la migration vers la plus grande taille plaquette et est destiné à renforcer la compétitivité de l'industrie européenne et de l'infrastructure de recherche. Le projet est soutenu par l'entreprise commune ENIAC et le Conseil britannique stratégie technologique.

Source: http://www.oxinst.com/

Last Update: 3. October 2011 07:57

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