Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Исми, Oxford Instruments регистрации для покрытия 450 мм Вафли кремния с SiO2 PECVD Фильмы

Published on January 6, 2011 at 3:45 AM

В сотрудничестве с Исми, технологии и применения команды на Oxford Instruments плазменных технологий имеют покрытием 450 мм кремниевых пластин с PECVD SiO2 - впервые в мире.

Пластины были обработаны с использованием недавно Oxford Instruments PlasmaPro ® NGP ® 1000 PECVD системы, которая способна покрытия одной пластины подложки до 450 мм диаметра или больше партий меньшего диаметра пластин.

Майк Кук, технический директор компании Oxford Instruments плазменных технологий, чрезвычайно доволен результатами. "Наше сотрудничество с Исми и Semilab дал нам доступ к 450-мм подложки и первая возможность для партнеров, чтобы внести и мера слоев на таких пластин", сказал он. Пластины обрабатываются в Оксфорде инструменты будут использоваться в тестовой программы Вафельные поколения Исми, чтобы позволить развитие 450mm процесса и метрологии инструментов. SiO2 однородность толщины пленки как ожидается, достигнет ± 3% на основе измерений, сделанных из партий меньшего диаметра пластин.

Исми в настоящее время строит инфраструктуру для перехода на 450 мм в качестве части своего портфеля программ, направленных на повышение производительности и снижение затрат в сегодняшней и завтрашней фабрики. Исми 450 мм Программа стремится предоставить экономически эффективный переход на основе координации и развития готовности инфраструктуры, руководство и промышленности.

Oxford Instruments также участвует в проекте EEMI 450 мм, в частности, в развитие 450 травления инструментов. Проект поддерживает переход на пластины большего размера и предназначены для укрепления конкурентоспособности европейской промышленности и исследовательской инфраструктуры. Проект осуществляется при поддержке ENIAC совместного проекта и стратегии Великобритании Технология совета.

Источник: http://www.oxinst.com/

Last Update: 3. October 2011 09:58

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit