ISMI Oxford Instrumenterar Sammanfogar för att Täcka 450 en mmSilikonRån med PECVD SiO2 Filmar

Published on January 6, 2011 at 3:45 AM

I samarbete med ISMI har teknologin och applikationerna som lag på Oxford Instrumenterar PlasmaTeknologi, täckt 450mm silikonrån med PECVD SiO2 - en värld först.

Rånen bearbetades genom att använda den för en tid sedan lanserade Oxforden Instrumenterar det PlasmaPro® NGP®1000 PECVD systemet, som är kapabelt av att täcka diametern för singelrånsubstrates upp till 450mm, eller större grupperar av rån för mindre diameter.

Mike Cooke, Högsta Teknologi Kommenderar på Oxford Instrumenterar PlasmaTeknologi, behas extremt med resultaten.  ”Gav Vårt samarbete med ISMI och Semilab oss tar fram till 450mm rån, och det första tillfället för att partners ska sätta in och att mäta lagrar på sådan rån,”, sade han.  Rånen som bearbetas på Oxford, Instrumenterar ska används i ISMI Testar RånUtvecklingsprogram för att möjliggöra utvecklingen av processaa 450mm, och metrology bearbetar. SiO2na filmar tjocklekslikformighet förväntas att uppnå ±3% som baseras på mätningar som tas från, grupperar av rån för mindre diameter.

ISMI bygger för närvarande infrastrukturen för övergången till en mm 450, som delen av dess portfölj av förminskande program som är hängivna till att förbättra produktivitet och, kostar i dagens och morgondag fabs. En mmProgramet för ISMI 450 begås till att möjliggöra eneffektiv övergång till och med koordination och utveckling av infrastruktur, vägledning och branschreadiness.

Oxford Instruments är involverad i EEMIEN 450mm projekterar också, i utvecklingen av 450mm etsar specifikt bearbetar. Projektera stöttar flyttningen till det större rånet storleksanpassar och ämnas förstärka competivenessen av Europébransch och forska infrastruktur. Projektera stöttas av den Gemensamma Begravningsbranschen för ENIAC, och UK-TeknologiStrategin Stiger Ombord.

Källa: http://www.oxinst.com/

Last Update: 26. January 2012 22:19

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit