ISMI, Oxford Instrumentong Sumali para sa mga patong 450 mm Silicon Wafers sa PECVD na SiO2 pelikula

Published on January 6, 2011 at 3:45 AM

Sa pakikipagtulungan sa ISMI, ang teknolohiya at application koponan sa Oxford Instrumentong plasma Teknolohiya pinahiran 450mm silikon wafers sa PECVD SiO2 - isang mundo unang.

Ang mga wafers ay naproseso gamit ang kamakailan inilunsad Oxford Instrumentong PlasmaPro ® NGP ® 1000 PECVD system, na kung saan ay kaya ng solong substrates ng patong ng ostiya hanggang sa 450mm diameter o mas malaki na mga batch ng mga mas maliit na wafers lapad.

Mike Cooke, ang Chief Technology Officer sa Oxford Instrumentong plasma Teknolohiya, ay lubos na nalulugod sa mga resulta. "Ang aming pakikipagtulungan sa ISMI at Semilab ay nagbigay sa amin ng access sa 450mm wafers at sa unang pagkakataon para sa mga kasosyo sa deposito at sukatin ang mga layer sa tulad wafers," siya sinabi. Ang mga wafers na naproseso sa Oxford Instrumentong ay gagamitin sa programa ng ISMI Subukan ostiya Pagbuo upang paganahin ang pagbuo ng 450mm na proseso at mga gamit sa metrolohiya. Ang SiO2 pagkakapareho ng kapal ng pelikula ay inaasahang upang makamit ± 3% batay sa mga sukat na kinuha mula sa mga batch ng mas maliit na wafers lapad.

ISMI ay kasalukuyang gusali imprastraktura para sa paglipat sa 450 mm bilang bahagi ng kanyang portfolio ng mga programa na nakatuon sa pagpapabuti ng produktibo at pagbabawas ng mga gastos sa ngayon at fabs bukas. Ang mm ISMI 450 Program ay nakatuon sa pagpapagana ng isang cost-effective na paglipat sa pamamagitan ng koordinasyon at pagpapaunlad ng imprastraktura, gabay, at industriya na kahandaan.

Oxford Instrumentong ay din kasangkot sa proyekto ng EEMI 450mm, partikular sa pagpapaunlad ng 450mm mag-ukit na mga gamit. Proyekto ay sumusuporta sa paglipat sa mas malaki na sukat ng ostiya at ay inilaan upang palakasin ang competiveness ng European industriya at pananaliksik imprastraktura. Ang proyekto ay suportado ng ENIAC magkasanib na pangako at ng Diskarte sa Lupon ng Teknolohiya ng United Kingdom.

Source: http://www.oxinst.com/

Last Update: 9. October 2011 04:51

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit