AIXTRON nouvelle commande de carbure de silicium Chemical Vapor Deposition système

Published on January 20, 2011 at 6:42 AM

AIXTRON SE a annoncé aujourd'hui une nouvelle commande pour un carbure de silicium (SiC) de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) du système à partir d'un important centre de recherche & développement de l'entreprise située dans le nord des Etats-Unis.

La commande comprend une configuration plaquette VP508GFR 1x4 pouces système de réacteur à chaud mural avec des fonctionnalités supplémentaires, y compris un tube à double paroi du réacteur à chaud avec le gaz de rotation AIXTRON Fleuret brevetée pour l'uniformité de plaquettes individuelles et des capacités à haute température.

La compagnie a passé la commande au cours du troisième trimestre de 2010. Après la livraison au deuxième trimestre de 2011, l'équipe locale de soutien AIXTRON effectuera l'installation et la mise en service.

Dr Frank Wischmeyer, vice-président et directeur général AIXTRON AB, déclare: «Dans le contexte du Prix Nobel de physique décerné à André Geim et Konstantin Novoselov pour graphène, c'est le bon moment pour notre prestation à venir. Le graphène est un matériau passionnant qui possède mobilité électronique, ce qui en fait un candidat potentiel comme matériau de canal dans les futurs appareils à haute fréquence et les circuits intégrés. "

Le système AIXTRON VP508GFR preuves dans des projets de recherche similaires seront utilisées pour cultiver le SiC épitaxiale et de convertir le matériel cultivé SiC dans les mono-couches de graphène.

Pour la R & D et de production à moyenne échelle, le réacteur est AIXTRON VP508GFR tube chaud-Wall offre seule plaquette de 4 pouces et en option de 6 pouces capacités dans une configuration à double chambre pour une productivité accrue.

AIXTRON offre également la production des plateformes MOCVD en utilisant ses réacteurs de type planétaire, MOCVD avec la capacité à haute température pour la croissance épitaxiale de SiC pour les 4 - et 6 pouces de capacité.

Source: http://www.aixtron.com/

Last Update: 23. October 2011 03:10

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit