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KLA-Tencor Releases New Process Control-Lösungen zu LED Produktion zu verbessern

Published on January 21, 2011 at 6:24 AM

Heute, KLA-Tencor Corporation (Nasdaq: KLAC), der weltweit führenden Hersteller von Prozess-Steuerung und Yield-Management-Lösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Branchen eingeführt KLARITY ® LED-eine automatisierte Analyse-und Defekt-Management-System für Licht emittierende Diode (LED ) Renditeoptimierung und der neuen, skalierbaren ICOS ® WI-2220-Wafer Inspektion, das speziell für LED Defektkontrolle, dass LED Geräteherstellern unterstützt bei der Senkung ihrer Produktionskosten entwickelt, bei gleichzeitiger Erhöhung der LED-Gerät Zuverlässigkeit.

"Die Branche der aktuellen Konsensus-Schätzungen, dass bis zum Jahr 2013 den LED-Markt wird bei einer kumulierten jährlichen Wachstumsrate von 25 Prozent oder höher zu wachsen", sagte Jeff Donnelly, Group Vice President, Growth and Emerging Markets bei KLA-Tencor. "Die heutige LED Gerätehersteller sind mit zunehmender Leistung bei geringeren Kosten gefordert, bei gleichzeitiger Unterstützung der Branche aggressive Wachstum. Dank ihrer erwiesenen Zuverlässigkeit und Einfachheit der Nutzung, KLA-Tencor Das umfassende Portfolio an LED Defekt Inspektion und Analyse-Lösungen ist so konzipiert, dass strengere Prozesssteuerung und Gesamtausbeute Verbesserungen für LED-Produktion bei verringerten Kosten pro Lumen. "

KLARITY LED: Fehleranalyse und Data Management System für LED Renditeoptimierung

Basierend auf der branchenweit führenden KLARITY Defect Produkt für Herstellung integrierter Schaltungen, stellt die neue KLARITY LED eine leistungsstarke Lösung für LED-Gerätehersteller, einschließlich automatisierter Inline-Scan-Analyse für die gesamte fabwide Herstellungsprozess. Die LED-Branche ist von der traditionellen Werkzeug-centric manuelle Fehler überprüft entwickelt, mit automatischen optischen Inspektion nur an der End-of-line Bühne, zur Annahme von anspruchsvollen fabwide Prozesskontrolle und Fehleranalyse mit in-line Inspektion. Als Ergebnis der Front-End zu Back-End-Konnektivität, bietet KLARITY LED schneller Ausflug Erkennung und Ursachenanalyse als vorherrschende Industrie Methoden zur effektiven Entscheidungsfindung und hilft so zur Verringerung der Auswirkungen von Materialien Risiko und zur Verbesserung der Erträge ermöglichen. Mit KLARITY LED, stellt KLA-Tencor auf LED Gerätehersteller einen modernen In-line alternative Lösung für die automatisierte Fehleranalyse von LED Produktion, sowie eine Option auf mehr effizient gemeinsam Leistung und Zuverlässigkeit von Daten innerhalb ihrer Organisation für eine schnellere Rendite Lernen, während Ersatz bestehender arbeitsintensive manuelle Erstellung von Berichten Methoden.

Entwickelt, um LED Gerätehersteller beschleunigen Ertrag Lernzyklen und prompt sofortige Korrekturmaßnahmen umfasst KLARITY LED:

  • Automatisierte Analyse (intelligente statistische Prozesskontrolle Ausflugs-und Baseline-Monitor)-unterstützt ein schnelleres Time-to-Korrekturmaßnahmen mit automatisierten wissensbasierten Berichte, umfangreiche Drill-Down-Fähigkeit und praktische Entscheidung Flow-Analyse, die bisher Experte Intervention und Interpretation
  • Erweiterte Defect Source Analysis-automatisiert den Prozess der Ursachenanalyse für Fehlerquellen bieten flexible grafische Analyse der gemeinsamen und Addierer Mängel
  • Proprietäre Spatial Signature Analysis-identifiziert räumlichen Signaturen, Tracks dynamische Signatur zu zählen und nutzt Stack Wafer Signaturen, um die Ursache für die schnellere Erkennung und Behebung zu identifizieren
  • Defect Bild review-bietet Wafermap point and click Zugang sowie eine Bildergalerie, so dass Gerätehersteller die Einstufung und Mangel Übergang Gemeinsamkeit Identifikation zu validieren und schnell Erstellen automatischer Berichte
    Repeater Fehlererkennung-identifiziert wiederholen Mängel über einen einzelnen Wafer sowie von Wafer zu Wafer

KLARITY LED ergänzt KLA-Tencor Wafer-Inspektionssysteme-einschließlich der neuen ICOS WI-2220-zu einem verbesserten LED-spezifische Portfolio-Lösung für hohen Return on kritischen LED Inspektion Investitionen.

ICOS WI-2220: Skalierbare Defect Inspection und verbesserte Cost of Ownership in LED Process Control

Die ICOS WI-2220 ist die automatische optische Inspektion Funktionen helfen LED Gerätehersteller realisieren höhere Erträge und geringere Produktionskosten. Mit der ICOS WI-2220, Endgeräte-Hersteller können Inspektion kleinerer Die-Größen, die manuelle Inspektion hemmen automatisieren und für größere sterben Größen, die eine schnelle Korrekturmaßnahmen zu teuren Materialien Risiko zu begrenzen. Das neue System ermöglicht Defektkontrolle ganze und gewürfelt Wafer bis 200mm, mit Makro-Inspektion Empfindlichkeit in der prä-und post-Würfel Inspektion (dh Front-und Back-End) von LED-Wafern.

Im Vergleich zu ähnlichen Produkten auf dem Markt, bietet die ICOS WI-2220-Empfindlichkeit, um kritische Defekte bei gleichzeitiger Minimierung der Lärm-Prozess eingeführt Variationen und bietet hervorragende vorbei und underkill Leistung (sterben Fehlklassifikation) bei hoher Prüfgeschwindigkeit. Das neue System bietet auch Low-Bildverzerrungen, fortschrittliche optische Filterung, regelbasierte Binning (RBB) für die Echtzeit-auto Defekt Einstufung und erweiterte Messtechnik Fähigkeiten bei hohen Messdurchsatz als Folge der neuen proprietären Inspektions-und Datentechnik. Dies ermöglicht höhere Erträge in der Herstellungsprozess durch Ertrag Basislinie Verbesserung, Ausflug Kontrolle sowie verbesserte in ausgehenden Qualitätskontrollen dispositioning.

Die ICOS WI-2220 arbeitet in Verbindung mit dem Candela LED-Wafer-Inspektionssystem unstrukturiert zu umfassenden, Rendite-Verbesserung Prüfdichte an den Front-Ende der Leitung zu schaffen, einschließlich der Analyse für die Disposition, Defect Reduction und Exkursion zu kontrollieren. Darüber hinaus ist die ICOS WI-2220 aufrüstbar auf die ICOS WI-2250 für flexible Konfigurationen.

Quelle: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 3. October 2011 22:52

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