KLA-Tencor विज्ञप्ति नई प्रक्रिया नियंत्रण समाधान के लिए एलईडी उत्पादन में सुधार

Published on January 21, 2011 at 6:24 AM

आज, KLA-Tencor निगम (Nasdaq: KLAC), दुनिया की प्रक्रिया नियंत्रण के प्रमुख आपूर्तिकर्ता और अर्धचालक और संबंधित उद्योगों, शुरू KLARITY ® एलईडी एक स्वचालित और प्रकाश उत्सर्जक डायोड के लिए दोष डेटा प्रबंधन प्रणाली विश्लेषण (एलईडी के लिए प्रबंधन समाधान उपज ) उपज वृद्धि और नए, स्केलेबल ICOS ® WI-2220 एक वफ़र निरीक्षण एलईडी दोष निरीक्षण है कि एलईडी उपकरण निर्माताओं को उनके उत्पादन लागत कम करने में सहायता के लिए विशेष रूप से डिजाइन है, जबकि एलईडी युक्ति विश्वसनीयता बढ़ाने उपकरण है.

"उद्योग की मौजूदा आम सहमति राज्य है कि एलईडी बाजार 2013 तक 25 प्रतिशत या अधिक की एक चक्रवृद्धि वार्षिक वृद्धि दर से बढ़ रही हो जाएगा का अनुमान है," जेफ Donnelly, समूह के उपाध्यक्ष, विकास और KLA-Tencor पर उभरते बाजारों कहा. "आज एलईडी डिवाइस निर्माताओं एक कम कीमत पर बढ़ती प्रदर्शन के साथ चुनौती दी हैं, जबकि उद्योग आक्रामक विकास दर का समर्थन. सिद्ध विश्वसनीयता और आसानी से उपयोग की है KLA-Tencor एलईडी दोष निरीक्षण और विश्लेषण समाधान के व्यापक पोर्टफोलियो के लिए तंग सक्षम लिए डिज़ाइन है के साथ प्रक्रिया नियंत्रण और लुमेन प्रति कम लागत पर एलईडी उत्पादन के लिए कुल उपज में सुधार. "

दोष और एलईडी यील्ड संवर्धन के लिए डेटा प्रबंधन प्रणाली विश्लेषण: KLARITY एलईडी

उद्योग की अग्रणी एकीकृत परिपथ विनिर्माण के लिए KLARITY दोष उत्पाद के आधार पर, नया एलईडी KLARITY एलईडी उपकरण निर्माताओं के लिए एक उच्च प्रदर्शन समाधान प्रदान करता है पूरे fabwide विनिर्माण प्रक्रिया के लिए स्कैन विश्लेषण लाइन में स्वचालित सहित,. एलईडी उद्योग पारंपरिक उपकरण केंद्रित पुस्तिका दोष चेक से विकसित हो रहा है, स्वचालित ऑप्टिकल निरीक्षण के साथ चरण के अंत की लाइन पर ही लाइन निरीक्षण के साथ परिष्कृत fabwide प्रक्रिया नियंत्रण और दोष विश्लेषण अपनाने की दिशा में. वापस अंत कनेक्टिविटी के लिए सामने अंत का एक परिणाम के के रूप में, एलईडी KLARITY प्रचलित उद्योग तरीकों की तुलना में तेजी से भ्रमण और रूट कारण विश्लेषण का पता लगाने का उद्धार करने के लिए प्रभावी बनाने, इस प्रकार की सामग्री जोखिम के प्रभाव को कम करने और पैदावार में सुधार में मदद लेने को सक्षम है. KLARITY एलईडी के साथ, KLA-Tencor एलईडी उपकरण निर्माताओं के लिए परिचय एलईडी उत्पादन प्रक्रियाओं के स्वचालित दोष विश्लेषण, और अधिक शेयर कुशलता से और तेजी से उपज सीखने के लिए अपने संगठन के भीतर प्रदर्शन और विश्वसनीयता डेटा, एक विकल्प के लिए वैकल्पिक समाधान लाइन में एक उन्नत जबकि मौजूदा जगह श्रम प्रधान पुस्तिका रिपोर्ट पीढ़ी तरीकों.

करने में मदद के लिए एलईडी उपकरण निर्माताओं उपज सीखने चक्र और शीघ्र तत्काल सुधारात्मक कार्रवाई में तेजी लाने के, KLARITY एलईडी शामिल हैं:

  • स्वचालित विश्लेषण (बुद्धिमान सांख्यिकीय प्रक्रिया नियंत्रण भ्रमण और आधारभूत मॉनिटर) तेजी से स्वचालित ज्ञान आधारित रिपोर्टों, व्यापक क्षमता ड्रिल नीचे और व्यावहारिक निर्णय प्रवाह विश्लेषण है कि पहले की आवश्यकता विशेषज्ञ हस्तक्षेप और व्याख्या के साथ समय - सुधारात्मक कार्रवाई का समर्थन करता है है
  • उन्नत दोष स्रोत दोष आम और योजक दोष लचीला चित्रमय विश्लेषण उपलब्ध कराने के स्रोतों के लिए मूल कारण विश्लेषण की प्रक्रिया के विश्लेषण automates
  • स्वामित्व हस्ताक्षर स्थानिक स्थानिक हस्ताक्षर - विश्लेषण को दिखाता है, गतिशील हस्ताक्षर गिनती पटरियों और leverages ढेर वफ़र हस्ताक्षर करने के लिए तेजी का पता लगाने और सुधारात्मक कार्रवाई के लिए मूल कारण की पहचान
  • दोष छवि वफ़र मानचित्र बिंदु और क्लिक करें का उपयोग, के रूप में के रूप में अच्छी तरह से एक छवि गैलरी समीक्षा प्रदान करता है, उपकरण निर्माताओं के वर्गीकरण और दोष संक्रमण समानता पहचान को मान्य करने के लिए और तेजी से स्वचालित रिपोर्ट उत्पन्न करने की अनुमति
    पुनरावर्तक दोष एक व्यक्ति वफ़र भर में दोहराने के दोष का पता लगाने की पहचान के रूप में अच्छी तरह के रूप में वफ़र से वफ़र के लिए,

एलईडी KLARITY KLA-Tencor वफ़र प्रणालियों सहित निरीक्षण पूरक नए ICOS WI-2220-के लिए एक बढ़ाया एलईडी विशेष महत्वपूर्ण एलईडी निरीक्षण निवेश पर उच्च वापसी के लिए पोर्टफोलियो समाधान प्रदान करते हैं.

WI-+२२२० ICOS: स्केलेबल दोष और एलईडी प्रक्रिया नियंत्रण में स्वामित्व की बेहतर लागत निरीक्षण

ICOS है WI-2220 स्वचालित ऑप्टिकल निरीक्षण क्षमताओं मदद एलईडी उपकरण निर्माताओं वृद्धि हुई पैदावार और कम उत्पादन लागत का एहसास है. ICOS WI-2220, उपकरण निर्माताओं छोटे मरने के आकार है कि बाधित पुस्तिका निरीक्षण के निरीक्षण को स्वचालित कर सकते हैं, और बड़े मरने आकार है कि महंगा सामग्री जोखिम को सीमित करने के लिए तेजी से सुधारात्मक कार्रवाई की आवश्यकता के लिए. नई प्रणाली पूरी और diced वेफर्स के दोष निरीक्षण की अनुमति देता है पूर्व और बाद पासा निरीक्षण में मैक्रो निरीक्षण एलईडी वेफर्स (यानी सामने और पीछे के अंत) संवेदनशीलता के साथ 200mm.

इसी तरह के उत्पादों के बाजार पर आज की तुलना में, ICOS WI-2220 के लिए संवेदनशीलता प्रदान करता है महत्वपूर्ण दोष जबकि कम से कम शोर प्रक्रिया के द्वारा शुरू की विविधताओं और बकाया प्रदान करता है से अधिक है और उच्च निरीक्षण गति से underkill प्रदर्शन (मरने ग़लत वर्गीकरण). नई प्रणाली भी नए मालिकाना निरीक्षण और डेटा प्रसंस्करण प्रौद्योगिकी का एक परिणाम के के रूप में कम छवि विरूपण, उन्नत ऑप्टिक फ़िल्टरिंग, वास्तविक समय ऑटो दोष वर्गीकरण के लिए नियम आधारित binning (RBB), और उच्च निरीक्षण throughput के उन्नत मैट्रोलोजी क्षमताओं प्रदान करता है. इस निर्माण की प्रक्रिया में उपज बेस लाइन सुधार, भ्रमण नियंत्रण के रूप में अच्छी तरह के रूप में निवर्तमान गुणवत्ता नियंत्रण निरीक्षण में dispositioning सुधार के माध्यम से वृद्धि हुई पैदावार सक्षम बनाता है.

Candela के साथ संयोजन के रूप में ICOS WI-२२२० काम करता है वफ़र निरीक्षण प्रणाली unpatterned एलईडी लाइन के सामने के अंत के लिए व्यापक, उपज में सुधार निरीक्षण कवरेज प्रदान स्वभाव, दोष, कमी और भ्रमण नियंत्रण के लिए विश्लेषण सहित. इसके अलावा, WI-2220 ICOS ICOS के लिए upgradable है लचीला विन्यास के लिए WI-2250.

स्रोत: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 7. October 2011 19:04

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