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KLA-Tencor は LED の生産を改善するために新しいプロセス制御解決を解放します

Published on January 21, 2011 at 6:24 AM

現在、 KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC)、世界の半導体および関連の企業のためのプロセス制御および収穫管理解決の一流の製造者、発光ダイオードの収穫機能拡張および新しい、スケーラブル ICOS® WI2220 のウエファーの点検ツール (LED)のためのもたらされた KLARITY® 導自動解析および欠陥のデータ管理システムは生産費の低下の LED 装置メーカーを助ける LED の欠陥の点検のためにとりわけ設計しました、間増加する LED 装置信頼性。

「企業現在の一致 KLA-Tencor で 2013 によって LED の市場が 25% の混合の年間成長率でまたはより高い育つ国家を」、は言いましたジェフ Donnelly、グループの副大統領、成長および新興市場を推定します。 「今日の LED 装置メーカーは低価格の増加するパフォーマンスと企業の積極的な成長率をサポートしている間挑戦されます。 証明された信頼性および使い易さによって 1 内腔あたり減らされた費用で LED の生産のためのより堅いプロセス制御および全面的な収穫の改善を可能にするように、 KLA-Tencor の LED の欠陥の点検および分析の解決の広範囲のポートフォリオは設計されています」。

KLARITY LED:  LED の収穫の機能拡張のための欠陥の分析およびデータ管理システム

集積回路の製造業のための工業一流 KLARITY の欠陥の製品に基づいて、新しい KLARITY LED は全体の fabwide の製造工程のための自動化されたインラインスキャン分析を含む LED 装置メーカーに高性能の解決を、提供します。 LED 工業はプロセス制御洗練された fabwide およびインライン点検を用いる欠陥分析の採用の方の行末の段階でだけ自動化された光学点検を用いる従来のツール中枢的な手動欠陥の小切手から、展開しています。 接続を後部処理する前陣の結果として KLARITY LED は有効な意志決定を可能にするために勝つ企業方法より速い脱線の検出そしてルート原因の分析を提供します従って助けて材料の危険の影響を減らし、収穫を改良して下さい。 KLARITY LED を使うと、 KLA-Tencor は LED 装置メーカー LED の生産プロセスの自動化された欠陥分析のための高度のインライン代替案を、およびより効率的に学ぶより速い収穫のための構成内のパフォーマンスおよび信頼性データを共有するオプションに既存の労働集約的な手動報告書作成方法を取り替えている間もたらします。

LED 装置メーカーがサイクルを学ぶ収穫を加速するのを助けるように設計し、即時の是正処置、 KLARITY LED を促すことは下記のものを含んでいます:

  • 自動解析 (情報処理機能をもった統計的なプロセス制御脱線およびベースラインのモニタ) - 自動化された知識ベースのレポート、広範なドリルの機能および実用的な決定の流れ解析のサポートより速くタイムに矯正的な処置前に必須専門家の介在および解釈
  • 高度の欠陥ソースは公有地および加算機の欠陥の適用範囲が広いグラフィカル分析を提供する欠陥ソースのための原因解析のプロセスを分析自動化します
  • 専有空間的な署名の分析 - 空間的な署名を識別します、トラックダイナミックな署名のカウントおよびてこ比はより速い検出および是正処置のための根本的原因を識別するためにウエファーの署名をスタックします
  • 欠陥の画像はウエファーのマップポイントおよびクリックアクセスを、また画像のギャラリーを検討提供しま、分類および欠陥の転移の共通性の識別を認可し、急速に自動化されたレポートを生成することを装置メーカーを許可します
    中継器の欠陥は個々のウエファーを渡る、またウエファーからのウエファーに繰り返しの欠陥を検出識別します

KLARITY LED は重大な LED の点検投資でハイリターンに新しい ICOS システムを含む KLA-Tencor のウエファーの点検を WI 2220 に提供します高められた導特定のポートフォリオの解決を補足します。

ICOS WI-2220: プロセス制御 LED の所有権のスケーラブル欠陥の点検そして改善された費用

ICOS の WI-2220 によって自動化される光学点検機能のヘルプ LED 装置メーカーは増加された収穫および減らされた生産費を実現します。 ICOS WI-2220 を使うと、装置メーカーは停止し手動点検を禁じる、より大きいサイズのために停止します急速な是正処置が高価な材料の危険を限定するように要求するできますより小さいサイズの点検を自動化。 新しいシステムは LED のウエファーの前および後ダイスの点検のマクロ点検感度との 200mm まで全のおよびさいの目に切られたウエファーの欠陥の点検を、 (すなわち前部および後部) 可能にします。

プロセスによってもたらされる騒音を最小化する欠陥間市場の同じような製品と今日比較されて、 ICOS WI-2220 は重大に感度を提供し、変化および高い点検速度で顕著な終わるそして underkill パフォーマンスを (誤った分類は停止します) 提供し。  新しいシステムはまた新しい専有点検およびデータ処理技術の結果として高い点検スループット (RBB)でリアルタイムの自動欠陥の分類のための低画像のゆがみ、高度に視覚にフィルタに掛けること、規則に基づいている binning、および高度の度量衡学の機能を提供します。 これは収穫のベースライン改善、出力品質管理の点検の脱線制御、また改善された dispositioning によって製造工程の増加された収穫を可能にします。

ICOS WI-2220 はカンデラ LED unpatterned ウエファーの検査システムと共に配置、欠陥の減少および脱線制御に分析を含むラインの前陣に広範囲を働きま、点検適用範囲を、収穫改良します提供するために。 なお、 ICOS WI-2220 は柔軟な設定のための ICOS WI-2250 にアップグレード可能です。

ソース: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 11. January 2012 12:18

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