Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

KLA-Tencor Выпускает Новые Разрешения Управления Производственным Процессом для того чтобы Улучшить Продукцию СИД

Published on January 21, 2011 at 6:24 AM

Сегодня, KLA-Tencor Корпорация (NASDAQ: KLAC), поставщик мира ведущий разрешений управления управления производственным процессом и выхода для полупроводника и родственных индустрий, введенный анализ KLARITY® Водить- автоматизированный и система управления данными дефекта для выхода светоиспускающого (LED) диода повышени-и нового, масштабируемого инструмента осмотра вафли ICOS® WI-2220-a конструировали специфически для осмотра дефекта СИД который помогает создателям прибора СИД в понижать их цен производства, пока увеличивая надежность прибора СИД.

«Консенсус Индустрии настоящий оценивает положение которое 2013 рынок СИД будет расти на составных среднегодовых темпах изменений 25 процентов или высоко,» сказал Джеф Donnelly, недостаток группы - президент, Рост и Появляющийся Рынок на KLA-Tencor. «Сегодняшние создателя прибора СИД брошены вызов 0Nс увеличением представлением на недорогом, пока поддерживающ темпы роста индустрии агрессивныйые. С доказанными надежностью и легкием в использовании, портфолио KLA-Tencor всестороннее разрешений осмотра и анализа дефекта СИД конструировано для того чтобы включить более плотное управление производственным процессом и общие улучшения выхода для продукции СИД на уменьшенной цене в люмен.»

СИД KLARITY:  Анализ Дефекта и Система Управления Данными для Повышения Выхода СИД

Основано на ведущем в отрасли продукте Дефекта KLARITY для изготавливания интегральной схемаы, новое СИД KLARITY обеспечивает разрешение высокой эффективности для создателей прибора СИД, включая автоматизированный встроенный анализ развертки для всего процесса производства fabwide. Индустрия СИД эволюционирует от традиционных инструмент-центральных ручных проверок дефекта, с автоматизированным оптически осмотром только на этапе конца линии, к принятию изощренных управления производственным процессом fabwide и анализа дефекта с встроенным осмотром. В результате начала к конечный взаимодействию, СИД KLARITY поставляет более быстрые обнаружение отклонения и анализ первопричины чем превалируя методы индустрии для того чтобы включить эффективный процесс принятия решений, таким образом помогающ уменьшите удар риска материалов и улучшите выходы. С СИД KLARITY, KLA-Tencor вводит к создателям прибора СИД предварительное встроенное альтернативное решение для автоматизированного анализа дефекта производственных процессов СИД, и варианту более эффективно для того чтобы делить данные по представления и надежности в пределах их организации для более быстрого выхода учя, пока заменяющ существующие трудоёмкие ручные методы поколения рапорта.

Конструировал помочь создателям прибора СИД ускорить ход выхода учя циклы и пробудить немедленную акцию в исправление, СИД KLARITY включает:

  • Автоматизированный анализ (толковейшее статистически отклонение управления производственным процессом и монитор базиса) - действие поддержек более быстрое врем-к-корректирующее с автоматизированными основанный на знаниях рапортами, обширной возможностью сверла-вниз и практически анализом потоков решения который интервенция и толкование ранее необходимого специалиста
  • Предварительный Источник Дефекта Анализ-Автоматизирует процесс анализа первопричины для источников дефекта обеспечивая гибкий графический анализ дефектов общего и сумматора
  • Собственнический Пространственный Анализ Подписи - определяет пространственные подписи, отсчет и системы рычагов подписи следов динамические штабелируют подписи вафли для того чтобы определить первопричину для более быстрых обнаружения и акции в исправление
  • Изображение Дефекта просмотрени-обеспечивает пункт карты вафли и доступ щелчка, так же, как штольн изображения, позволяющ создателям прибора утвердить классифицирование и идентификацию общины перехода дефекта и быстро произвести автоматизированные рапорты
    Дефект Репитера обнаружени-определяет дефекты повторения через индивидуальную вафлю, так же, как от вафли к вафле

Осмотр вафли KLA-Tencor комплектов СИД KLARITY систем-включая новое ICOS WI-2220-to обеспечивает увеличенное Водить-специфическое разрешение портфолио для высокого возвращения на критических облечениях осмотра СИД.

ICOS WI-2220: Масштабируемый Осмотр Дефекта и Улучшенная Цена Владения в Управлении Производственным Процессом СИД

Создателя прибора СИД помощи возможностей осмотра ICOS автоматизированные WI-2220 оптически осуществляют увеличенные выходы и уменьшенные цен производства. С ICOS WI-2220, создателя прибора могут автоматизировать осмотр малого умирают размеры которые блокируют ручной осмотр, и для большого умирают размеры которые требуют быстрой акции в исправление ограничивать дорогой риск материалов. Новая система позволяет осмотру дефекта всех и diced вафель до 200mm, с чувствительностью осмотра макроса в осмотре pre- и столб-плашек (т.е. фронт и конечное) вафель СИД.

Сравнено к подобным продуктам на рынке сегодня, ICOS WI-2220 снабубежит чувствительность критическое дефект-пока уменьшающ шум введенный процессом изменени-и предлагает выдающее представление излишек и underkill (умирает misclassification) на высокой скорости осмотра.  Новая система также предлагает искажение низк-изображения, предварительный оптический фильтровать, правил-основанный binning (RBB) для в реальном масштабе времени автоматического классифицирования дефекта, и выдвинутые возможности метрологии на высоком объём осмотра в результате новой собственнической технологии осмотра и преобразования данных. Это включает увеличенные выходы в процессе производства через улучшение базовой линии выхода, управление отклонения так же, как улучшенный dispositioning в общительных осмотрах проверки качества.

ICOS WI-2220 работает совместно с системой контроля вафли СИД Кандели unpatterned для того чтобы снабдить всестороннее, выход-улучшающ охват осмотра начало линии, включая анализ для решения, уменьшения дефекта и управления отклонения. Furthermore, ICOS WI-2220 upgradable к ICOS WI-2250 для гибких конфигураций.

Источник: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 11. January 2012 12:29

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit