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KLA - Tencor公司推出新的過程控制解決方案,以提高LED生產

Published on January 21, 2011 at 6:24 AM

今天,KLA - Tencor的公司(NASDAQ:KLAC),世界領先供應商的過程控制和產量的半導體及相關行業,推出KLARITY ® LED的自動分析發光二極管的缺陷數據管理系統(發光二極管管理解決方案®)產量的提高和新的,可伸縮的ICOS的WI - 2220 - A晶圓檢測工具,專為 LED缺陷檢查,協助 LED設備製造商降低其生產成本,同時增加了LED器件的可靠性。

集團副總裁,增長和新興市場在KLA - Tencor的唐納利,“傑夫說:”目前業界的共識估計,到2013年LED市場將在25%或更高的複合年增長率增長的狀態,。 “今天的LED的設備製造商的挑戰,增加以較低的成本性能,支持行業的咄咄逼人的增長率的同時,使用經過驗證的可靠性和易於使用,KLA - Tencor的LED的缺陷檢查和分析解決方案的全面組合設計,以使更緊密LED每流明成本下降生產過程控制和整體提高產量。“

KLARITY的LED:LED產量的提高和數據管理系統的缺陷分析

基於業界領先的集成電路製造 KLARITY缺陷產品,新的KLARITY LED LED設備製造商提供高性能的解決方案,包括行掃描分析的整個 fabwide製造過程自動化。 LED產業正在從傳統的工具中心手冊缺陷檢查,自動光學檢測只在結束階段,對採用在線檢測的複雜 fabwide過程控制和缺陷分析。作為一個前端到後端連接的結果,KLARITY LED提供更快遊覽業的現行方法相比,檢測和根源分析,使有效的決策,從而幫助降低材料風險的影響和提高單產。隨著 KLARITY KLA - Tencor公司推出的LED,LED設備製造商在LED生產過程的自動化缺陷分析,一個選項,以更有效地共享加快良率學習的組織在其性能和可靠性數據,另一種解決方案先進,而取代現有的勞動密集的手工報表生成方法。

KLARITY LED的設計,以幫助 LED設備製造商加速良率學習週期,並提示立即採取糾正措施,包括:

  • 自動分析(智能統計過程控制漂移和基線監測),支持更快的時間採取糾正措施與自動化知識為基礎的報告,廣泛向下鑽取能力和實用的決策流程分析,以前需要專家干預和解釋
  • 先進的缺陷源分析為共性和加法的缺陷提供了靈活的圖形分析的缺陷來源的根本原因分析的過程自動化
  • 專有的空間特徵分析識別空間簽名,跟踪動態簽名計數和利用棧晶圓的簽名,以確定更快的檢測和糾正行動的根源
  • 缺陷圖像審查,提供晶圓地圖上的點和單擊訪問,以及圖片廊,使設備製造商,以驗證分類和缺陷過渡的共性識別並迅速生成自動報告
    直放站缺陷檢測標識跨越單個晶圓的重複的缺陷,以及從晶圓到晶圓

KLARITY LED的補充 KLA - Tencor的晶圓檢測系統,包括新的ICOS的WI - 2220 -提供一個增強的LED的特定關鍵的LED檢驗投資的高回報的投資組合的解決方案。

ICOS的WI - 2220:可擴展的缺陷檢測和主導者有其屋改善成本控制

ICOS的WI - 2220的自動光學檢測功能,可以幫助 LED設備製造商實現增加產量和降低生產成本。隨著 ICOS的WI - 2220,設備製造商可以自動檢查,更小的芯片尺寸,抑制人工檢查和芯片尺寸較大,需要迅速採取糾正措施,以限制風險昂貴的材料。新系統允許整體切塊晶圓缺陷檢查可達 200mm,在前期和後期骰子檢查宏觀的LED晶圓的檢測靈敏度(即前端和後端)。

Last Update: 27. October 2011 16:22

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