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Candela 8620 Wafer Inspection System von KLA-Tencor für High-Brightness-LED Designed Hersteller

Published on January 21, 2011 at 6:40 AM

Heute, KLA-Tencor Corporation (Nasdaq: KLAC), der weltweit führenden Hersteller von Prozess-Steuerung und Yield-Management-Lösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Branchen, seine neue Candela ® 8620 Substrat und Epitaxie (epi)-Wafer-Inspektionssystem.

Entwickelt für High-Brightness Light Emitting Diode (HBLED) Hersteller bietet das Candela 8620 automatisierte Defektkontrolle für LED-Materialien wie Gallium-Nitrid-, Saphir und Siliziumcarbid-Enabling verbesserte Qualitätskontrolle sowohl opaken und transparenten Substraten, kürzere Time-to-root Ursache, und verbesserte Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD)-Reaktor Verfügbarkeit und Ertrag.

Candela (R) 8620 Substrat und Epitaxie (epi)-Wafer-Inspektionssystem

Mit seiner firmeneigenen Optik-Design und-Detection-Technologie erkennt das Candela 8620 und klassifiziert Sub-Mikrometer-Mängel, die nicht konsequent durch aktuelle Untersuchung identifizierten Methoden-wodurch zum ersten Mal eine Fertigungslinie Monitor für diese Ausbeute einschränken Mängel. Nach Angaben der Industrie, wie HBLED Hersteller Übergang Produktion größerer Wafer und die Einführung neuer gemusterten Saphir-Substrat (PSS) Prozesse, die wirtschaftlichen Auswirkungen der daraus resultierenden Prozess-induzierten Defekten an Millionen von Dollar an entgangenen Umsatz mit pro Jahr geschätzt, und MOCVD epi Prozess Probleme können in so viel wie 40 Prozent der gesamten Defekt-induzierte Ertragseinbußen führen.

"Die verbesserte Leistung von KLA-Tencor Candela 8620 ist ein wichtiger Teil unseres Ertrags-und Kostensenkungsmaßnahmen," kommentierte Iain Black, Vice President of Manufacturing Engineering und Innovation bei Philips Lumileds, einer der ersten Anwender der Candela 8620-System. "Das System hat ein wichtiges Element bei der Beschleunigung unserer Prozess-Rampe, wie wir Übergang zu 150 mm Substrate und ermöglicht es uns, Saphir Anbieter mit der höchsten Qualität zu wählen."

Mängel von Substrat und epi-Prozesse Schlaggerät Leistung, Ertrag und Zuverlässigkeit im Feld. Die Candela 8620 erkennen kann:

  • Fehlstellen im Untergrund wie Mikro-Kratzer und Mikrorisse, die epi-Prozess Mängel und direkten Einfluss erstellen können LED Ausbeute und Zuverlässigkeit
  • Fehlerquellen von Lithographie und Ätzverfahren für gemusterte Saphir, wie fehlende Beulen und widerstehen Hohlräume, die sich in epi Mängel oder reduziertem Lichtstrom
  • Makro-und Mikro-Defekte in MOCVD-Prozesse, einschließlich sechseckige Gruben und Beulen, die zu elektrischen Defekt, und epi Risse, die sich negativ auswirken können Zuverlässigkeit im Feldeinsatz

LED-Substrat und Epitaxieschichten vor erhebliche Herausforderungen Inspektion durch ein hohes Maß an Hintergrund-Signal und Belästigung Mängel. Die Candela 8620 Imaging-und Detektionssystem wird optimiert, um das Signal von relevanten Mängel-of-Interest bei gleichzeitiger Unterdrückung von Hintergrundgeräuschen zu verbessern. Begünstigt durch seine Multi-Channel Detektionsoptik das System zusätzlich ermöglicht eine hohe Reinheit Klassifizierung solcher Mängel, so dass umfassende statistische Prozesssteuerung kritischer MOCVD-Verfahren.

"KLA-Tencor ist die Nutzung von mehr als drei Jahrzehnte Erfahrung in der Halbleiter-Prozess-Steuerung, um Kunden in Schwellenländern profitieren wie HBLED", sagte Jeff Donnelly, Group Vice President of Growth and Emerging Markets bei KLA-Tencor. "In jüngster Zeit mehrere HBLED Hersteller haben die Candela 8620 System installiert ist, und das System die bewährte Fähigkeit, schwer zu erkennen, Fehler zu identifizieren ermöglicht es Kunden, höhere Substrat Qualität realisieren und größtmögliche Rendite von MOCVD Investition."

KLA-Tencor derzeit Hunderte von Candela-Tools auf der ganzen Welt installiert. Die Candela Werkzeug ist Teil der integrierten HBLED KLA-Tencor Portfolio, die die ICOS ® WI-2220 und WI-2250 und Klarity ® LED enthält. Candela-Werkzeuge werden von global, KLA-Tencor umfassenden Service-Netzwerk unterstützt.

Quelle: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 8. October 2011 04:13

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