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El Sistema de Inspección del Fulminante de la Candela 8620 de KLA-Tencor Diseñó para los Fabricantes de la Alta Brillantez LED

Published on January 21, 2011 at 6:40 AM

Hoy, KLA-Tencor Corporation (Nasdaq: KLAC), el surtidor de cabeza del mundo del mando de proceso y las soluciones de la administración del rendimiento para el semiconductor y las industrias relacionadas, introdujeron su nuevo sistema de inspección del substrato de Candela® 8620 y del fulminante de la epitaxia (epi).

Diseñado para los fabricantes del diodo electroluminoso de la alta brillantez (HBLED), la Candela 8620 proporciona al examen automatizado del defecto para los materiales del LED tales como nitruro del galio, zafiro, y control de calidad aumentado de carburo-activação del silicio de substratos opacos y transparentes, de una causa más rápida de la tiempo-a-raíz, y del uptime y del rendimiento Orgánicos mejorados del reactor (MOCVD) de la Deposición de Vapor Químico del Metal.

Candela (R) 8620 sistema de inspección del substrato y del fulminante de la epitaxia (epi)

Con su tecnología óptica propietaria del diseño y de la detección, la Candela 8620 detecta y clasifica los defectos del submicron que no son determinados constantemente por métodos-de tal modo actuales del examen activando por primera vez una cadena de producción monitor para estos defectos rendimiento-limitadores. Según fuentes de la industria, como producción de la transición de los fabricantes de HBLED a tallas más grandes del fulminante e introduzca los nuevos procesos modelados del substrato (PSS) del zafiro, el impacto económico de defectos proceso-inducidos resultantes se estima en millones de dólares en ingresos perdidos del producto por año, y las ediciones del proceso del epi del MOCVD pueden resultar ya que el 40 por ciento de baja defecto-inducida guardapolvo del rendimiento.

“El funcionamiento aumentado de la Candela 8620 de KLA-Tencor es una parte importante de nuestros esfuerzos de la reducción del rendimiento y de costes,” el Negro comentado de Iain, vicepresidente de la ingeniería de la fabricación y de la innovación en Philips Lumileds, adoptante temprano del sistema de la Candela 8620. “El sistema ha sido un elemento importante en acelerar nuestra rampa de proceso pues transición a los substratos de 150 milímetros y estamos permitiendo que seleccionáramos a vendedores del zafiro con el más de alta calidad.”

Los Defectos de procesos del substrato y del epi afectan funcionamiento del dispositivo, rinden y colocan confiabilidad. La Candela 8620 puede detectar:

  • El Substrato deserta por ejemplo las micro-rayaduras y las microrajas que pueden crear defectos de proceso del epi y afectar directamente el rendimiento y la confiabilidad del LED
  • Las fuentes del Defecto de los procesos de la litografía y del grabado de pistas para el zafiro modelado tal como topetones faltantes y resisten claros, dando por resultado defectos del epi o rendimiento reducido del lumen
  • Los defectos Macros y micros en procesos del MOCVD, incluyendo huecos hexagonales y los topetones que llevan a la avería eléctrica, y el epi se quiebra que puede afectar al contrario confiabilidad del campo

El substrato del LED y los retos importantes del examen de la actitud de las capas de la epitaxia debido a los niveles de la señal y de la molestia de antecedentes deserta. El sistema de la proyección de imagen y de detección de la Candela 8620's se optimiza para aumentar la señal del defecto-de-interés relevante mientras que suprime ruido de fondo. Ayudado por su óptica de varios canales de la detección, el sistema permite además la clasificación de la pureza elevada de tales defectos, de tal modo permitiendo el mando de proceso estadístico completo de los procesos críticos del MOCVD.

“KLA-Tencor leveraging más de tres décadas de experiencia en el mando de proceso del semiconductor para beneficiar a clientes en mercados emergentes como HBLED,” dijo a Jeff Donnelly, vicepresidente del grupo de Incremento y de Mercados Emergentes en KLA-Tencor. “Recientemente, varios fabricantes de HBLED han instalado el sistema de la Candela 8620, y la capacidad probada del sistema de determinar duro-a-detecta defectos permite que los clientes realicen una calidad más alta del substrato y que maximicen rendimiento del capital invertido del MOCVD.”

KLA-Tencor tiene actualmente centenares de herramientas de la Candela instaladas en todo el mundo. La herramienta de la Candela es parte de la cartera integrada del HBLED de KLA-Tencor, que incluye el ICOS® WI-2220 y WI-2250, y de Klarity® LED. Las herramientas de la Candela son retrocedidas por KLA-Tencor global, red de servicio completa.

Fuente: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 11. January 2012 12:31

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