Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Candela 8620 Wafer Inspection System KLA-Tencor suunniteltu suuren kirkkauden LED valmistajat

Published on January 21, 2011 at 6:40 AM

Tänään, KLA-Tencor Corporation (Nasdaq: KLAC), maailman johtava prosessinhallinnan ja tuoton hallinta puolijohde ja siihen liittyvillä aloilla, esitteli uuden Candela ® 8620 alusta ja epitaxy (EPI) kiekkojen tarkastusjärjestelmää.

Suunniteltu kirkas valoa lähettävä diodi (HBLED) valmistajat, Candela 8620 tarjoaa automatisoituja vika tarkastus LED materiaalien kuten galliumnitridi, safiiri, ja piikarbidi-avulla parantaa laadunvalvontaa sekä läpinäkymätön ja läpinäkyvä alustoille, nopeammasta-root aiheuttaa, ja parantaa metalliorgaanista CVD (MOCVD) reaktori käytettävyys ja tuottoa.

Candela (R) 8620 alustan ja epitaxy (EPI) kiekkojen tarkastusjärjestelmää

Sen oma optinen suunnittelu ja Detection Technology, Candela 8620 tunnistaa ja luokittelee sub-micron vikoja, jotka eivät ole johdonmukaisesti tunnistaa nykyistä tarkastusmenetelmät-mikä mahdollistaa ensimmäistä kertaa tuotantolinjan seurata näiden tuotto rajoittavia puutteita. Teollisuuden antamien tietojen mukaan, kuten HBLED valmistajien siirtyminen tuotantoa suurempiin kiekkoihin ja uusia kuviollinen safiiri alustaan ​​(PSS) prosessit, taloudelliset vaikutukset aiheutuvat prosessin aiheuttama vikoja on arviolta miljoonia dollareita menetetty tuote tuloja vuodessa, ja MOCVD epi prosessi kysymyksiä voi aiheuttaa jopa 40 prosenttia koko vika aiheuttama sadon menetys.

"Parannettu suorituskyky KLA-Tencor n Candela 8620 on tärkeä osa tuotto ja kustannusten karsiminen", kommentoi Iain Musta varatoimitusjohtaja tuotantoprosessin suunnittelusta ja innovaatiot Philips Lumileds, varhaisten omaksujien ja Candela 8620 järjestelmään. "Järjestelmä on ollut tärkeä osa nopeuttaa Prosessissamme ramppi kuin me siirtymistä 150 mm alustoilla ja sallii meidän valita Sapphire myyjät laadukkain."

Vikoja alustan ja EPI prosessien vaikutusta laitteen suorituskyky, tuottaa ja alan luotettavuus. Candela 8620 voi havaita:

  • Alustan viat, kuten mikro-naarmut ja pienet halkeamat, jotka voivat luoda EPI prosessi vikoja ja vaikuttavat suoraan LED tuottaa ja luotettavuus
  • Vikojen lähteistä litografia ja etch prosessit kuviollinen Sapphire kuten puuttuvat kuoppia ja vastustaa huokoset, jolloin EPI vikoja tai pienentää valovirran
  • Makro-ja mikrotason viat MOCVD prosesseissa, kuten kuusikulmainen kuoppia ja kohoumia johtaa sähkökatkokset, ja epi halkeamia, jotka voivat vaikuttaa haitallisesti alan luotettavuutta

LED alustan ja epitaxy kerrokset aiheuttavat merkittäviä tarkastus haasteita johtuen korkeita taustasignaali ja riesat vikoja. Candela 8620 n kuvantamisen ja havaitsemisjärjestelmä on optimoitu parantaa signaalin koskevia puutteita palvelukohteita samalla tukahduttaa taustamelua. Apunaan sen monikanavainen havaitseminen optiikka, järjestelmä mahdollistaen myös erittäin puhdasta luokittelun tällaisista virheistä, jolloin kattava tilastollinen prosessinohjaus kriittisten MOCVD prosesseja.

"KLA-Tencor on vipuvaikutus yli kolmen vuosikymmenen kokemus puolijohteiden prosessinohjaus asiakasta hyödyttävä kehittyvillä markkinoilla kuten HBLED", sanoi Jeff Donnelly, johtaja Kasvua ja Emerging Markets KLA-Tencor. "Viime aikoina useat HBLED valmistajat ovat asentaneet Candela 8620 järjestelmää, ja järjestelmän todistettu kyky tunnistaa vaikeasti havaita vikoja avulla asiakkaat voivat toteuttaa korkeamman alustan laatu ja maksimoida tuotto MOCVD investointeja."

KLA-Tencor on tällä hetkellä satoja Candela työkaluja asennettu eri puolille maailmaa. Candela työkalu on osa UCK-Tencor integroitu HBLED salkku, joka sisältää ICOS ® Wi-2220 ja WI-2250, ja Klarity ® LED. Candela työkalut ovat tukena KLA-Tencor maailmanlaajuinen, kattava palveluverkosto.

Lähde: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 20. November 2011 15:57

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit