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Le Système de Contrôle de Disque de la Bougie 8620 de KLA-Tencor A Conçu pour des Constructeurs de l'Intense Luminosité LED

Published on January 21, 2011 at 6:40 AM

Aujourd'hui, KLA-Tencor Corporation (Nasdaq : KLAC), le fournisseur principal mondial du contrôle du processus et les solutions de management de rendement pour le semi-conducteur et les industries relatives, ont introduit son système de contrôle neuf de substrat de Candela® 8620 et de disque d'épitaxie (epi).

Conçu pour des constructeurs du light emitting diode d'intense luminosité (HBLED), la Bougie 8620 fournit l'inspection robotisée de défaut pour des matériaux de LED tels que la nitrure de gallium, le saphir, et le contrôle qualité amélioré de carbure-activation de silicium des substrats opaques et transparents, de la cause plus rapide de temps-à-racine, et du temps de bon fonctionnement et du rendement Organiques améliorés de réacteur (MOCVD) de Déposition En Phase Vapeur En Métal.

Bougie (R) 8620 système de contrôle de substrat et de disque d'épitaxie (epi)

Avec sa technologie optique de propriété industrielle de design et de dépistage, la Bougie 8620 trouve et classifie les défauts submicroniques qui ne sont pas chronique recensés par des méthodes-ainsi actuelles d'inspection activant pour la première fois une chaîne de production moniteur pour ces défauts rendement-limiteurs. Selon des sources d'industrie, en tant que production de passage de constructeurs de HBLED à de plus grandes tailles de disque et introduisez les procédés modelés neufs de substrat (PSS) de saphir, l'incidence économique des défauts procédé-induits donnants droit est estimée aux millions de dollars dans la comptabilité perdue de produit par an, et les délivrances de procédé d'epi de MOCVD peuvent donner droit puisque 40 pour cent de perte défaut-induite générale de rendement.

« La performance améliorée de la Bougie 8620 de KLA-Tencor est une part importante de nos efforts de rendement et de réduction des coûts, » Iain commenté Noir, vice président du bureau d'études de fabrication et innovation chez Philips Lumileds, un premier adopteur du système de la Bougie 8620. « Le système a été un élément important en accélérant notre rampe de processus car nous passage aux substrats de 150 millimètres et nous permet de sélecter des constructeurs de saphir avec le plus de haute qualité. »

Les Défauts des procédés de substrat et d'epi influencent la performance de dispositif, fournissent et mettent en place la fiabilité. La Bougie 8620 peut trouver :

  • Le Substrat déserte comme les micro-brouillons et les microfissures qui peuvent produire les défauts de processus d'epi et directement influencer le rendement et la fiabilité de LED
  • Les sources de Défaut des procédés de lithographie et gravure à l'eau forte pour le saphir modelé tel que les mémoires annexes manquantes et résistent à des vides, ayant pour résultat les défauts d'epi ou la sortie réduite de lumen
  • Les Macro- et micro défauts dans des procédés de MOCVD, y compris les piqûres hexagonales et les mémoires annexes menant à la panne électrique, et l'epi fêle qui peut défavorablement influencer la fiabilité de zone

Les couches de substrat et d'épitaxie de LED lancent des défis significatifs d'inspection dus aux hauts niveaux des défauts de signe et de gêne de mouvement propre. Le système de représentation et de dépistage de la Bougie 8620's est optimisé pour augmenter le signe du défaut-de-intérêt approprié tout en supprimant le bruit de fond. Facilité par son bloc optique multivoie de dépistage, le système permet supplémentaire la catégorie de grande pureté de tels défauts, permettant de ce fait le contrôle du processus statistique complet des procédés critiques de MOCVD.

« KLA-Tencor accroît plus de trois décennies des compétences dans le contrôle du processus de semi-conducteur pour bénéficier des abonnées sur les marchés émergents comme HBLED, » a dit Jeff Donnelly, vice président de groupe d'Accroissement et de Marchés Émergents chez KLA-Tencor. « Récent, plusieurs constructeurs de HBLED ont installé le système de la Bougie 8620, et la capacité prouvée du système de recenser dur-à-trouvent des défauts permet à des abonnées de réaliser une qualité plus élevée de substrat et de maximiser le renvoi sur l'investissement de MOCVD. »

KLA-Tencor a actuel des centaines d'outils de Bougie installés autour du monde. L'outil de Bougie fait partie du portefeuille intégré du HBLED de KLA-Tencor, qui comprend l'ICOS® WI-2220 et WI-2250, et du Klarity® LED. Des outils de Bougie sont reculés par KLA-Tencor global, réseau de service complet.

Source : http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 11. January 2012 12:12

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