Candela 8620 Wafer Inspeksi Sistem dari KLA-Tencor Dirancang untuk Kecerahan Tinggi LED Produsen

Published on January 21, 2011 at 6:40 AM

Hari ini, KLA-Tencor Corporation (Nasdaq: KLAC), pemasok terkemuka dunia dari pengendalian proses dan hasil solusi manajemen untuk industri semikonduktor dan terkait, memperkenalkan Candela baru ® 8620 substrat dan epitaksi (epi) sistem wafer inspeksi.

Dirancang untuk cahaya kecerahan tinggi emitting diode (HBLED) produsen, Candela 8620 menyediakan pemeriksaan cacat otomatis untuk bahan LED seperti galium nitrida, safir, dan silikon karbida-memungkinkan kontrol kualitas yang disempurnakan substrat baik buram dan transparan, lebih cepat waktu-ke-akar penyebab, dan Metal Organik ditingkatkan Chemical Vapor Deposition (MOCVD) reaktor uptime dan hasil.

Candela (R) 8620 substrat dan epitaksi (epi) wafer sistem inspeksi

Dengan teknologi desain eksklusif dan deteksi optik, Candela 8620 mendeteksi dan mengklasifikasikan sub-mikron cacat yang tidak konsisten diidentifikasi oleh inspeksi saat ini metode-sehingga memungkinkan untuk pertama kalinya jalur produksi monitor untuk menghasilkan ini-membatasi cacat. Menurut sumber industri, sebagai transisi produsen produksi HBLED untuk ukuran wafer yang lebih besar dan memperkenalkan baru berpola safir substrat (PSS) proses, dampak ekonomi dari cacat proses-diinduksi yang dihasilkan diperkirakan mencapai jutaan dolar dalam pendapatan produk yang hilang per tahun, dan MOCVD epi masalah proses dapat mengakibatkan sebanyak 40 persen dari keseluruhan cacat disebabkan kehilangan hasil.

"Kinerja ditingkatkan KLA-Tencor Candela 8620 merupakan bagian penting dari hasil kita dan upaya pengurangan biaya," komentar Iain Hitam, wakil presiden teknik manufaktur dan inovasi di Philips Lumileds, seorang adopter awal dari sistem 8620 Candela. "Sistem ini telah menjadi elemen penting dalam mempercepat proses kita jalan seperti yang kita transisi sampai 150 mm substrat dan memungkinkan kita untuk memilih vendor safir dengan kualitas tertinggi."

Cacat dari substrat dan proses epi dampak perangkat kinerja, hasil dan kehandalan lapangan. Candela 8620 dapat mendeteksi:

  • Substrat cacat seperti mikro-goresan dan mikro-retak yang dapat membuat cacat proses epi dan langsung berdampak LED hasil dan kehandalan
  • Cacat sumber dari litografi dan proses etsa untuk bermotif safir seperti benjolan hilang dan menolak void, sehingga epi cacat atau lumen output dikurangi
  • Makro dan mikro-cacat dalam proses MOCVD, termasuk lubang heksagonal dan benjolan menyebabkan kegagalan listrik, dan retak epi yang dapat berakibat buruk terhadap kehandalan lapangan

Substrat LED dan lapisan epitaksi inspeksi signifikan menimbulkan tantangan karena tingginya tingkat cacat sinyal latar belakang dan gangguan. Imaging 8620 Candela dan sistem deteksi dioptimalkan untuk meningkatkan sinyal dari relevan cacat-kepentingan-sementara menekan kebisingan latar belakang. Dibantu oleh multi-channel nya optik deteksi, sistem juga memungkinkan klasifikasi kemurnian tinggi kerusakan tersebut, sehingga memungkinkan pengendalian proses statistik yang komprehensif dari proses MOCVD kritis.

"KLA-Tencor adalah meningkatkan lebih dari tiga dekade keahlian dalam kontrol proses semikonduktor untuk menguntungkan pelanggan di pasar negara berkembang seperti HBLED," kata Jeff Donnelly, kelompok wakil presiden Pertumbuhan dan Emerging Markets di KLA-Tencor. "Baru-baru ini, produsen HBLED menginstal beberapa sistem Candela 8620, dan terbukti memiliki kemampuan sistem untuk mengidentifikasi sulit-untuk-mendeteksi cacat memungkinkan pelanggan untuk mewujudkan kualitas substrat yang lebih tinggi dan memaksimalkan laba atas investasi MOCVD."

KLA-Tencor saat ini memiliki ratusan alat Candela diinstal di seluruh dunia. Alat Candela adalah bagian dari portofolio terpadu HBLED KLA-Tencor, yang mencakup ICOS ® WI-2220 dan WI-2250, dan Klarity ® LED. Alat Candela didukung oleh jaringan global KLA-Tencor, layanan yang komprehensif.

Sumber: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 4. October 2011 20:28

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit